(54) ДВУХКООРДРЛЧАТНЫЙ ЗЕРКАЛЬНЫЙ ДЕ ЛЕКГОР Лвухкоординатгпый зеркальный дсф1сктор содержит источник света I, эпоктро механические приводы 2 и 3 по пвум координатам, на осях которых .)еплены отклоняющие зеркала 4 и 5, управляющи блоки 6 и 7, электрически связанные с соответствующими приводами 2 и 3. После отклоняющих зеркал 4 и 5 по ходу световых лучей установлен объектив 8. Двух координатный дефлектор содержит также Второй источник 9 света, частота излучения которого отлична от частоты излучения источника 1. Оптические лучи обоих источников 1 и 9 совмещены с помощью дихроичного зеркала 1О, -установленного в точке пересечения светоВьгх лучей от обоих источников I и 9, разметенных под углом один к другому. По ходу световых лучей после объектива 8 и на оптической оси установлены .второе дихроичное зеркало 11 и полупрозрачное зеркало 12 Ъод углом одно к другому. Два преобразователя 13 и 14 положения световой точки в цифровой код установлены по ходу световых лучей после полупрозрачного зеркала 12. Преобразователь 13 установлен по ходу световых лучей, про ходящих через полупрозрачное зеркало 1 П|:)еобразователь 14 установлен по ходу световых лучей, отраженных от полупроз рачного зеркала 12. Э 1ектрюмеханический привод Я/ от- кпонякнцее зеркало 4, преобразователь 1 световой точки в цифровой код и управляющий блок 6 образуют сервосистему, управляющую лучом по одной координате а электромеханический привод 3, отклоняющее зеркодо 5, преобразователь 14 световой точки в цифровой код и блок 7 образуют сервосистему, управляющую лучом по другой координате. Источншс света 1 формирует узконаправленный управляемый световой пучок, который после отражения от дихрои ного зеркала 10, отклоняющих зеркал 4 и 5 и дихроичного зеркала 11 поступае на Выходное устройство {непоказано). Источник света 9 формирует узконаправленный световой пучок для создания оптической обратной связи с по- мошью преобразователей 13 и 14 положения световой точки в цифровой код. Дихроичные зеркала 1О и 11 представляют собой стеклянные пластинки с ианесенными на их поверхность несколь ввмв тонкими пленками различной толИНЫ с различными показателями преомления таким образом, чтобы для одной части спектра коэффициент отражения был наибольщим (коэффициент преломления - наименьщим), а для другой части спектра коэффициент отражения 1аименьшим, а коэффициент прело иления- наибольщим. Дихроичное зеркало 10 совмещает световые пучки от источников 1 и 9, а дихроичное зеркало 11 разделяет световые пучки этих источников. Полупрозрачное зеркало 12 разделяет световой пучок от источника 9 на два ортогональных световых пучка, которые поступают на соответствующие преобразователи 13 и 14. Устройство работает следующим образом. , Световой пучок источника 9 проходит через дихроичное зеркало 10, отражается от отклоняющих зеркал 5 и 4, проходит через, объектив 8 и дихроичное зеркало 11, разделяется на два ортогональных световых пучка полупрозрачным зеркалом 12 и Поступает на соответствующие преобразователи 13 и 14 световой точки в цифровой код. Цифровые коды преобразователей 13 и 14 являются сигналами обратной.- связи и посту- . пают на входьг управляющих блоков 6 и 7. При поступлении на Входы блоков 6 и 7 электрических сигналов трабуе мого направления отклонения светового пучка от источника 1 света происходит сравнение электрических сигналов (кодов), управляющих и обратной связи, и вырабатываются сигналы для управления приводами 2 и 3. Оси приводов 2 и 3 и отклоняющие зеркала 4 и 5 поворачиваются, изменяя одновременно направления отклонения световых потоков от источников 1 и 9, световые пучки которых совмещены с помощью дихроичного зеркала 10. Изменение направления световых пучков источников 1 и 9 отклонякидими зеркалами 4 и 5 приводит к изменению цифровьгх кодов в преобразователях 13 и 14. При равенстве электрических сиг-, налов (кодов) обратной связи и элект- . рических сигналов (кодов) требуемого положения светового пучка от источника 1 на входах блоков 6 и 7 выработка сигналов управления электромеханическими приводами 2 и 3 прекращается, отклоняющие зеркала 4 и 5 останавлй- ваются и световой пучок от источника направляется к выходному устройству.в требуемом направлении. В описанном дефлекторе заметно сни жаются аберрации и тем сам1лм повышается точность отклонения светового луча за счет создания глубокой отрицательной обратной связи (после обоих от клоняющих зеркал), а также увеличивае ся скорость отклонения. Формула изобретени Деухкоординатный зеркальный дефлек тор, содержащий источник света, два электромеханических привода, на осях которых закреплены отклоняющие зеркала, объектив, установленный по ходу световых лучей после отклоняющих зеркал, и два управлякнцих блока, электрически связанные с соответствующими приводами, отличающийся тем. Что, с целью -повышения точности и скорости отклонения светового луча, в него введены второй источник света. частота излучения которого отлична от частоты излучения первого источника, дихроичное зеркало, установленное в точке пересечения световых лучей от обоих источников света, размещенных под углом один к другому, второе дихроичное зеркало и полупрозрачное зеркало, установленные под углом одно к другому по ходу световых лучей после объектива, и два преобразователя положения световой точки в цифровой код, установленные по ходу световых лучей после полупрозрачного зеркала, причем один преобразователь установлен по ходу световых лучей, проходящих через полупрозрачное зеркало, а второй - по ходу световьи лучей, отраженных от полупрозрачного зеркала. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Катыс Г. П. Информационные сканирующие системы. - M.J Наука, 1965: с. 112. 2.Сканатор Q - ЗОО РД, Ьс«ег OptieS каталог фирмы CPTELTEC, ФРГ, 1975,с. 171.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Лазерное сканирующее устройство | 1982 |
|
SU1053618A1 |
Способ определения радиусов кривизны сферических поверхностей и устройство для его осуществления | 1988 |
|
SU1562691A1 |
МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ОПТИКО-ЛОКАЦИОННАЯ СИСТЕМА | 2005 |
|
RU2292566C1 |
Устройство для контроля центрирования оптических деталей | 1987 |
|
SU1530962A1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ОБЪЕКТА И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ, МОДУЛЯЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА | 2001 |
|
RU2181498C1 |
БЛОК ДАТЧИКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА И СПОСОБ ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ЭТОГО КОНТРОЛЯ | 1998 |
|
RU2186372C2 |
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ | 2015 |
|
RU2582307C1 |
ЛАЗЕРНАЯ ПРОЕКЦИОННАЯ СИСТЕМА ОТОБРАЖЕНИЯ ТЕЛЕВИЗИОННОЙ ИНФОРМАЦИИ (ВАРИАНТЫ) | 1995 |
|
RU2104617C1 |
Устройство для отклонения светового луча | 1983 |
|
SU1108381A1 |
Устройство для измерения коэффициента зеркального отражения оптической поверхности | 1982 |
|
SU1068783A1 |
Авторы
Даты
1979-09-05—Публикация
1977-12-29—Подача