Эмиссионный электронный микроскоп Советский патент 1979 года по МПК H01J37/26 

(54) ЭМИСХЖОННЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП горизонтальной плоскости, а также изменять угол наклона по отношению к нему. Анод 3 и контрастная диафрагма 8 могут быть перемещены как вдоль оси колонны, так.И перпендикулярно к ней. Отклоняющая система 9 выполнена а виде двух пар отклоняющих пластин. Конструкция эмиссионного электронного микроскопа предусматривает также диф ференциальную систему откачки через патрубки 1О и 11 для поддержания более высокого вакуума в области объекта исследования. За люминесцентным экраном 4 размещены средства измерения: ци линдр Фарадея 12 и электрометр 13, Исследования на микроскопе проводятся следующим образом. С помощью иммерсионного объектива и отклоняющей системы на люминесцентном экране 4 формируется электронно-оптическое эмиссионное изображение. Локальнъ1й эмиссионный ток, попадающий в цилиндр Фарадея 12 измеряется электрометром 13. Зная увеличение микроскопа и диаметр отверстия в экране, можно определить величину участка, с которого измеряется локальный ток, и рассчитать соответствующее эффективное значение ло кальной работы выхода. Перемещая образец механически или смещая его электро но-оптическое изображение с помощью электрического поля, подаваемого на пла тины отклоняющей системы 9, можно определить локальные значения работы выхода на любом участке образца и построить соответствующие функции распределен работы выхода по поверхности для данного образца. При постепенном повышении темперауры образца можно наблюдать процесс екристаллизации и фазовый переход из кристаллического состояния в жидкое, а также исследовать термоэлектронную эмиссию из расплавленного образца. Конструкция изолятора и объектодерьжателя позволяет длительное время поддерживать образец при высоких температурах, а любой исследуемый образец устанавливается в углублении тигля без специального закрепления. Формула изобретения Эмиссионный электронный микроскоп, содержащий колонну, высоковольтный изолятор, объектодержатель, иммерсионный объектив, отклоняющую систему и люминесцентный экран, отличающи.йс я тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур объекта исследования, наблюдения фазового перехода и термоэлектронной эмиссии из расплавленного вещества, объектодержатель вьнполнен в виде тигля, который закреплен на высоковода.тном изоляторе и уставсжлен с иммерсионным объективом в нижнем основании колонны микроскопа. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Швейцарии № 493934, кл. Н О1 1 37/26, опублик. 197О. 2.Дружинин А. В, Исаев А. А., Корольков Н, С, Змиссионнъ1й микроскоп с. безмасляной системой откачки, Изэестия АН СССР/ сер. физики, т. 32, ЛЬ 7, 1968, с. 1275 (прототип).