Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа Советский патент 1986 года по МПК H01J37/28 

Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных мик- / роскопах (РЭМ).

Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации,флуктуации энергетических параметров зонда.

На чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.

Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, выход переменной составляющей напряжения которого электрически соединен с магнитопроводом 3 фокусирующей магнитной линзы и объектодержателем А. Объект 5 установлен на объектодержателе 4 через изолирукицую прокладку 6, а магнитопровод 3 фокусирующей линзы размещен на изоляторе 7.

Сущность изобретения заключается в том, что при флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на проводящий магнитопровод 3 фокусирующей Линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов

зонда относительно эквипотенциальной области, ограниченной фокусирующей линзой и объектодержателем, и , следовательно, постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повьшается стабильность вторично-эмиссионного сигнала и уровень тока зонда, что позволяет сократить время . Введение предложенных обратных связей достаточно просто может быть реализовано для серийно вьтускаемых РЭМ.

Формула изобретения

Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа, содержащая источник электронов, соединенньтй с высоковольтным блоком питания, фокусирующую магнитную линзу с магнитопроводом и объектодержатель, о тличающаяся тем, что, с целью уменьшения времени анализа при упрощении конструкции системы, выход переменной составляющей напряжения высоковольтного блока питания электрически соединен с магнитопроводом и объектодержателем.

Изобретение относится к системам формирования электронного зойда в растровых электронных микроскопах. Цель изобретения - уменьшение времени анализа и упрощение конструкции. .При флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на провод5пцнй магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондов относительно эквипотенциальной области, ограниченной фокусирующей линзой и объгктодержателем 4. Таким образом, постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмисс S сионного сигнала и уровень тока зонда, что сокращает время анализа. (Л I ил.