Способ изготовления фотокатода в телевизионных передающих трубках Советский патент 1979 года по МПК H01J9/20 

I .

Изобретение относится к области электронного приборостроения, а именно, к способу изготовления фотокатода в телевизионных передающих трубках, типа суперортикон или изокон.:

Известен способ изготовления полупрозрачного фотокатода в телевизионной трубке, включающий изготовление катода на основе соединений группы А

Однако катод, изготовленный по данному способу, обладает низкой чувствительностью для длин волн больших 0,8 мкм.

Известен способ изготовления полупрозрачного фотокатода в телевизионной передающей трубке, включающий монтаж арматуры прибора, нанесение слоя основного металла вакуумным испарением .на внутреннюю поверхдасть входного окна с тюследуюшим активированием щелочным металлом и сенсибилизацией 2.

Слой сребра при этой технологии наносится прозрачностью 4О-50% испаjeHHeM в вакууме, затем окисляется в атмосфере кислорода до изменения прозрачности до 90-100%, наносится дополнительный слой серебра до изменения прозрачности до 6О-80%.

Недостатком известного способа является низкий процент выхода приборов по разрешающей способности.

Цель изобретения - повышение разрешающей способности трубки и процента выхода по этому параметру.

Для достижения цели перед монтажом узла мшиени в трубке наносят 40-80% необходимо го количества металла, а остальные - во время вакуумной обработки трубки.

Толщина первого слоя металла, наносимого на планшайбу до установки мишени в трубку, может изменят ся в больших пределах (40-80%). Минимальная его толщина должна обеспечить покрытие стеклянной поверхности сплошным слоем металла, тах 1сак только в этом случае возможно 1ОО%-ное ттрилипание 36 частиц металла, подающего на поверхность планшайбы во время второго этапа изготовления фотокатода, а максимальна ограничена чувствительностью фотокатода. Толшша второго слоя (60-20%) связана с толщиной первого слоя так, чтобы суммарный слой получился оптимальной толщины для получения максимальной чувствительности фотокатода, изготавлшзаемого по принятой техпопбгин. Примером реализации предлагаемого способа может служить изготовление в лабораторных условиях десяти штук приборов ЛИ232. Вначале при помощи соответствующего инструмента (штампа, пресс-форм, делительной мащины и .) изготовляют 1сак стеклянные, так и механические детали прибора. После химической и механической обработки (удаление загрязнен пескоструйка, электролиз) и нанесения покрытий на стеклянные детали на специальных оправках производят сборку де талей в узлы (секция переноса, мшлень и прожектор-умножитель). При помощи соответствующих приспособлений эти узлы укрепляют на стеклянном цилиндре и вводной ножке. Одновременно на планщайбу стеклянного стакана с унсе нанесенным алюминиевгым контактным кольцом под вакуумным колпаком при давлении 1. рт.ст. испарением наносят слой серебра. Чтобы серебро не попало на цилиндрическую стенку стакана, в него помещают специальный металлический экран. Толщину наносимого слоя контролируют по потере прозрачности при помощи осветителя и селенового фртоэпемента с микроамперметром. Процесс испарения прекращается после потери прозрачности на 25%. Затем приваривают стакан к фланцу стеклянного цилиндра, устанавливают мшкень и вы. полняют последнюю операцию сборки прибора - заварку вводной ножки с укрепленной на ней системой прожектор умножитель. Собранный прибор напаивают на вакуумный пост причем предва- рительно на его цилиндр надевают печь для прогрева умножителя, затем опускаю печь общего прогрева прибора. Во-время откачки высоковакуумным насосом обе печи включают и при температурах соот ветственно 5ОО С печи умножителя и ЗОО С общей печи производится обезгаживание прибора: При давлении 1З.Юмм рт.ст. печь общего прогрева вык.. 4 ючают и поднимают. При включенной печи множителя для его окисления в прибор ввоят на 10 мин кислород при давлении ,1 мм рт.ст. Посла откачки кислорода ечь общего прогрева снова опускают включают. Прогрев с откачкой проолжается до давления 1-3.10 мм рт.ст. Затем обе печи выключают, прибор охлаждают и производят обезгаживание источника цезия и активирование термокат ода. Последняя операция - изготовление фотокатода. Для этого контролируют при помощи осветителя и селенового фотоэлемента толщину наносимого дополнительного, согласно изобретению, слоя серебра с поглощением света еще на 25%, вместо 50% по стандартной технологии, так как 25% было нанесено на планщайбу предварительно. В прибор вводят кислород под давлением 2.10мм рт. ст. и спой окисляется ВЧ разрядом так, что его прозрачность увеличивается с 60 до 7О-75%. Опускают печь общего прогрева и после того как прибор прогревается 30 мин при температуре 170-180 С через источник цезия пропускают ток, происходит очувствление фотослоя. Контроль процесса производится тю фототоку. Вначале ток появляется, увеличивается, проходит через максимум и уменьшается на- 20-30% . В этот момент ток через источник цезия выключают, а прогрев прибора продолжается до стабилизации фототока. Затем печь поднимают, прибор охлаждают и производится сенсибилизация фотокатода. Для этого, наблюдая за фототоком, включают и постепенно увеличивают ток через испаритель серебра. Как правило фототок увеличивается, проходит через максимум и уменьшается на ЗО-50%, тогда ток через испаритель выкшочают. После этого прибор прогревается при 17О-180 С до максимума фототока и затем охлаждается. В холодный прибор осторожно впускают кислород с контролем по фототоку. Когда фототок, пройдя максимум, упадет на 10-20%, сенсибилизация фотокатода считается законченной. Затем испаряют газопоглотители, тренируют термокатод и прибор отпаивают. Формула изобретения Способ изготовления фотокатода в телевизионных передающих трубках, 693461.6

чающий монтаж арматуры, нанесениеосновного метаппа, а остапьные - во

споя основного металла вакуумным ис Ьремя,0акуумной обработки трубки.

парением на внутреннюю тюверхность., - входного окна с последуюшиКш активи- Источники информации.

рованием щелочным металлом и сенси-5 . locio апй Dit,.,New tiigllбипизацией, отличающийсяsensi-t-ivifs tongr-tife image or ticons,

тем, что, с целью повыщения разрешаю-Tostiiba , 966,23,l7,р.9ов-9-12(1).

щей способности трубки и увеличения про-2.Sunivplsa i М.,Вегте В.Р-t)evee.opцента выхода ш этому параметру, передf unt о sitven-ox.xgen pViotocoiitiocls

(монтажом узла мищени в трубке нано-° Tudifen Tornat oi риге phvsics 9,

сят 4O-80% необходимого количества191-1,, (21)(прототип).

, принятые во внимание при экспертизе