Дистанционно управляемый газовый натекатель Советский патент 1979 года по МПК H01J7/20 

(54) ДИСТАНЦИОННО УПРАВЛЯЕМЫ ГАЗОВЫЙ НАТЕКАТЕЛЬ

Изобретение относится к устройст вам управления газовыми потоками, в частности к устройствам обратного действия для плавного регулирсшания очень малых газовых потоков, вводимых в вакуумную систему, и может найти применение в областях техники использующих технологические процессы, протекающие в вакууме, например в производстве электровакуумных приг боров. Известны цельнометсшлические игольчатые натекатели, величина натекания в которых регулируется погру жением тонкой иглы в отверстие седла.1, Плавное регулирование газового потока может быть достигнуто лишь при тщательном изготовлении конусной иглы, что сопряжено со значительными трудностями. Известны дистанционно управляемые газовые натекатели, состоящие из корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося перпендикулярно к оси отверстия штуцера, привода ynpyjoro уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимающего устройства 2 . в известном дистанционно управляемом газовом натекателе уплотняющее усилие распределено равномерно по всему контуру уплотнения, и при перемещении уплотнителя в направлении, параллельном оси отверстия штуцера, регулировка величины газового потока осуществляется на начальном участке за счет уменьшения уплотняющего усилия равномерно по периметру уплотнения, а на последующем участке (после потери контакта со штуцером) - за счет изменения зазора между кромкой отверстия и плоскостью уплотнителя, который также распределен равномерно по всему периметру. Такое равномерное распределение уплотняющего усилия, а затем и зазора ведет к отсутствию плавности регулировки величины газового потока. В случае упругого уплотнителя равномерность изменения уплотняющего усилия по всему периметру уплотнения при открывании натекателя ведет к залипанию упругого уплотнителя на отверстии штуцера, результатом чего является резкий скачок величины регулируемого газового потока при переходе с начального участка регулировки на последующий. Целью изобретения является увеличение плавности регулирования во всем диапазоне изменения газового потока. Цель достигается за счет того, что упругий уплотнитель установлен под острым углом относительно норма;.и к плоскости среза уплотняемого отверс.тия штуцера, при этом указанны угол выбирается из соотношения 40 . На чертеже схематически изображен предлагаемый натекатель. Дистанционно управляемый газовый натекатель состоит из корпуса 1 с закрепленным в нем коническим штуцером 2 с отверстием 3 диаметром 0,5 мм, соединенным с вакуумной системой. В корпусе также расположены два герметических электроввода 4 и 5. ria электровводе 4 закреплена плос кая отжимающая пружина 6, на которой установлен держатель упругого уплотнителя 7 с упругим уплотнителем 8, в качестве которого взят витой РП 13-45, а также кронштейн 9, на котором закреплен один из концов туго натянутой нихромовой проволоки 10 диаметром 0,2 мм и длиной 70 мм, второй конец которой подсоединен к электровводу 5. Все элемента предлагаемого газового натекателя закрыты кожухом 11, соединенным герметично с корпусом 1. В кожух 11 подается на пускаемый газ. Уплотняющая поверхность упругого уплотнителя 8 располо жена под углом 60 к оси отверстия 3 штуцера. В исходном состоянии газовый нате катель закрыт и за счет расположения уплотняющей поверхности упругого уплотнителя 8 под острым углом к оси отверстия штуцера 2, кромка которого перпендикулярна оси, уплотняющее уси лие распределено неравномерно по пе риметру уплотнения. При подаче на проволоку 10 через электровводы 4 и 5 управляющего напряжения проволока 10 удлиняется, и пружина б отжимает упругий уплотнитель 8 от отверстия 3. Так как перемещения малы, то мож но считать, что упругий уплотнитель В перемещается параллельно оси отве тия 3 штуцера 2. При этом газовый натекатель начинает открываться, ria начальном участке уплотняющее усили хотя и уменьшается, но продолжает быть распределенным неравномерно по периметру уплотнения, благодаря чем натекание начинает осуществляться н по всему периметру уплотнения, а по той его части, где уплотняющее усилие наименьшее, что обеспечивает плавность регулировки на начальном участке. При дальнейшем увеличении правляющего напряжения на последующем участке натекание осуществляется за счет приоткрытия части отверстия штуцера 2, причем остальная часть периметра остается уплотненной. Это обеспечивает неравномерность распределения уплотняющего усилия по поверхности контакта сжатого уплотнителя со штуцером, таким образом препятствуя залипанию уплотнителя на штуцере и исключая скачок величины газового потока при переходе с начального участка регулирования на последующий. Постепенное открывание отверстия штуцера 2 обеспечивает плавность регулировки на последующем участке. При снятии Управляющего напряжения с проволоки 10 происходит закрывание натекателя в обратном порядке. Использование описанного технического решения в конструктивном исполнении газового натекателя позволяет повысить плавность регулирования величины газового потока во всем диапазоне измерения, а также улучшить воспроизводимость величины газового потока при прямом и обратном ходе. Данные положительные качества позволяют эффективно осуществлять автоматизацию технологического процесса обработки электровакуумных приборов. Формула изобретения Дистанционно управляемый газовый нateкaтeль, состоящий из корпуса, штуцера, подсоединенного к вакуумной системе, упругого уплотнителя, перемещающегося относительно отверстия штуцера, привода упругого уплотнителя, состоящего из отжимающей пружины и прижимающего устройства, отличающийся тем, что, с целью увеличения плавности регулирования во всем диапазоне изменения газового потока, упругий уплотнитель установлен под острым углом относительно нормали к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера. 2. Натекатель поп.1, отличающийс я тем, что угол между упругим уплотнителем и нормалью к плоскости среза уплотняемого отверстия штуцера 40ioi 60°. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Рот.А. Вакуумные уплотнения. М., Энергия, 1971, с. 406. 2.Пипко А.И. и др. Оборудование для откачки вакуумных приборов, М., Энергия, 1965, с. 124 (прототип).

0°f,