Вакуумная установка Советский патент 1979 года по МПК F04B37/08 

Изобретение касается вакуумной техНИКИ, в частности вакуумных установок.

Известна хриосорбционная ва.ку-уг/шая. насосная системе, содержашая крйосорбционный насос и, резервуар для хладагента ll.

Недостатком этих установок явпяется большой вес и высокая стоимость вследствие большой металлоемкости и трудоемкости конструкции.

Известна вакуумная установка, содержащая корпус с концентрично расположенной в его полости охлаждаемой камерой и криосорбционный насос 2.

Однако такие установки имеют низкую производительность, обусловленную невозможностью развития криосорбционной поверхности в рабочем объеме камеры.

Цель изобретения - увеличение производительности установки.

Цель достигается тем, что сорбент насоса размещен на наружной поверхности Охлаждаемой камеры, а полость корnj a соойпена с охлаждаемой камерой

посредством трубопровода с установлен- Kovi в кем ааслонкой,На черт-еже изображена описываемая aaKyyTwiHaH установка,

Вакуумная установка содержит корпус 1 с концентрично располонсенной в его полости охлаждаемой камерой 2 и 1ф1юсорбционньш насос 3. Сорбент 4 крносорбцнонного насоса 3 размешен на нар окной поверхности охлаждаемой камеры 2. Полость корпуса 1 сообщена с охлаждаемой камерой 2 посредством трубопровода 5 с установленной в нем заслонкой 6. Трубопровод 5 соединен с форвакуулдаым насосом 7 через клапан 8.

Вакуумная установка работает следующим образом.

Вначале из корпуса 1 и охпаждаемой камеры 2 откачивается атмосферный воздух посредством форвакуумногх) насоса 7. тем давление в охлаждаемой камере 2 понижается посредством криосорбционного насоса 3, сорбент 4 которого охлаждается до криогенных текшератур от