Многоцелевая термовакуумная установка Советский патент 1987 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумой технике, в частности к термовауумным установкам.

Цель изобретения - экономия крио- родукта.

На чертеже представлена схема усановки.

Многоцелевая термовакуумная установка содержит корпус 1 с концент- рично расположенной в его полости камерой 2, охватываемой каналами 3 и связанной с полостью корпуса 1 через вентиль 4, криосорбционный и форва- куумный насосы 5 и 6, систему 7 отогрева, причем установка снабжена криогенной камерой 8, выполненной внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 и соединенной с камерой 2 посредством дополнительно выполненной промежуточной полости 10, а криосорбционный насос 5 установлен в зазоре 9, при этом верхняя часть 11 промежуточной полости 10 соединена через дополнительно установленные вентили 12-14 с форвакуумным насосом 6, верхней частью 15 криогенной камеры 8, а нижняя часть 16 промежуточной полости 10 соединена через дополнительно установленные вентили 17-20 с нижней частью 21 криогенной камеры 8, с каналами 3 и с криосорбционным насосом 5.

Установка работает следук:ш;им образом.

После загрузки объекта в камеру 2 открываются вентили 4 и 12 и откачивается полость корпуса 1, камера 2 и промежуточная полость 10 форвакуумным насосом 6. Криогенная камера 8 заполняется криопродуктом, откуда он подается в криосорбционный насос 5 через вентрши 17 и 20, а также в каналы 3 через вентиль 19 и промежуточную полость 10 через вентиль 18, Криосорбционный насос 5 поглощает газы в полости корпуса 1 и в зазоре 9, поддерживая давление в камере 2

Редактор А.Ворович

Составитель Г.Соломонов ТехредА.Кравчук

Заказ 5108/35 Тираж 570Подписное

ВНИКЛИ Государственного комитета СССР . по делам изо бретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

-Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4.

на заданном уровне. По мере насыщения криосорбционного насоса 5 закрывается вентиль 20 и отключается подача криопродукта в криосорбционный насос 5, закрываются вентили 4 и 12 и проводится регенерация криосорбционного насоса 5 путем подачи в него теплоносителя из системы 7 отогрева.

Удаление выделяемых при этом газов производят форвакуумным насосом 6. Затем вновь повторяется цикл откачки камеры 2,

Испытание объекта при высоких

5 температурах в вакууме осуществляют закрытием вентилей 12, 17 и 14, открытием вентилей 20, 19, 18, 13 и 4 и подачей теплоносителя из системы 7 отогрева в промежуточную полость

Q. 8 и каналы 3 при работающем форваку- умном насосе 6,

Формула Изобретения

5 Многоцелевая термовакуумная установка, содержащая корпус с концен- трично расположенной в его полости камерой, охватываемой каналами и связанной с полостью корпуса через вентиль, криосорбционный и форвакуум- ный насосы, систему отогрева, отличающаяся тем, что, с целью экономии криопродукта, она снабжена криогенной камерой, выполненг ной внутри корпуса с образованием

зазора и соединенной с камерой посредством дополнительно выполненной промежуточной полости, а криосорбционный насос установлен в зазоре, при этом верхняя часть промежуточной полости .соединена через дополнительно установленные вентили с форвакуумным насосом, верхней частью криогенной камеры, а нижняя часть промежуточной полости соединена через

дополнительно установленные вентили с нижней частью криогенной камеры, с каналами и с криосорбционным насосом.

40

Корректор И.Муска

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет экономить криопродукт. Внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 выполнена криогенная камера (КК) 8, соединенная с камерой 2 посредством промежуточной полости (ГОО 10. В зазоре 9 установлен криосорбционный насос (КН) 5. Верхняя часть 11 1Ш 10 соединена через вентили с форвакуумным насосом 6 и верхней частью 15 КК 8. Нижняя часть 16 ПП 10 соединена через вентили с нижней частью 21 КК 8, с каналами 3 и с КН 5. Криопродукт из КК 8 подается в КН 5, который поглощает газы в полости корпуса и в зазоре 9, поддерживая давление в камере 2 на заданном уровне. По мере насыщения КН 5 поступление кpиoпpoдyктa в него прекращается и проводится регенерация КН 5 путем подачи в него теплоносителя из системы 7 отогрева. 1 ил. g f 11 Ю 15 л/и /77 го л 1в (Л