I
Изобретение относится к устройствам для нанесения тонких пленок текучих материалов на пластины.
Известно устройство для нанесения светочувствительного слоя на пластины, содержащее держатели пластин, представляющие собой щтыри, вертикально расположенные по периферии барабана 1.
Недостатками такого устройства являются неравномерность толщины пленки, а также то, что фоторезист попадает на обратную сторону пластины и на щтыри, что влечет за собой необходимость в проведении дополнительной операции отмывки обратной стороны пластины и фиксирующих щтырей.
Более близкое к изобретению устройство для нанесения текучего материала на пластины, содержащее корпус, сборник текучего материала со смонтированным внутри него столиком с отверстиями, дозирующее устройство 2. Однако такое устройство сложно по конструкции вследствие применения двух коаксиальных устройств, имеющих относительную скорость вращения. Кроме того, устройство может быть использовано для обработки пластин одного строго заданного размера.
Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.
Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для нанесения текучего материала на пластины, содержащем корпус, сборник текучего материала со смонтированным внутри него столиком с отверстиями и дозирующее средство, столик выполнен по меньщей мере с двумя профильными утолщениями с крутой и пологой поверхностями на нижней его части, причем отверстия выполнены сквозными и расположены вдоль радиусов столика на пологой части утолщений, а профильное утолщение выполнено спиралеобразной формы, обращенной пологой поверхностью к оси вращения. Кроме того, дозирующее средство смонтировано соосно со столиком.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид снизу; на фиг. 3 - вид сбоку съемного столика с четырьмя профильными утолщениями.
Устройство содержит корпус 1, сборник 2 текучего материала, набор съемных столиков 3 со сквозными отверстиями 4 и профильными утолщениями 5 на нижней стороне, дозирующее средство 6 для нанесения текучего материала строго на центр пластины. Устройство работает следующим образом. Пластину устанавливают на столик нужного диаметра, включают электронривод. Перепад давлений, возникающий между верхней плоской поверхностью столика и нижней профильной поверхностью (двухплоскостной улитки), в соответствии с законом Вернулли прижимает пластину к столику и надежно удерживает ее на вращающейся поверхности. На центр вращения пластины с расстояния 0,5-1,0 мм подается доза текучего материала, который под действием центробежных сил равномерно распределяется на поверхности пластины. Образование сложных неоднородностей пленки типа «стиральной доски исключается, так как воздушный слой около вращающейся поверхности имеет соизмеримую скорость вращения. Избыток текучего материала, стекающий с пластины, отбрасывается потоком воздуха, создаваемым воздуходувной улиткой, в форме которой выполнена нижняя сторона столика, что исключает попадание текучего .материала на обратную сторону пластины. По истечении времени формирования поверхности пленки (10-30 с) вращение прекрацдают, пластина поступает на последующие операции.
Предлагаемое устройство проще по конструкции, его применение полностью исключит попадание текучего материала на обным внутри него столико.м с отверстия.ми и дозирующее средство, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства, столик выполнен по меньщей мере с двумя профильными утолщениями с крутой и пологой поверхностя.ми на нижней его части, причем отверстия выполнены сквозными и расположены вдоль радиусов столика на пологой части утолщений.
2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что профильное утолщение выполнено спиралеобразной фор.мы, обращенной пологой поверхностью к оси вращения.
3.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что дозирующее средство смонтировано соосно со столиком.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1.Авторское свидетельство СССР № 360110, кл. В 05 В 5/08, 1972.
2.Авторское свидетельство СССР
№ 555917, кл. В 05 С 11/02, 1975 (прототип). ратную сторону пластины, обеспечит высокую равномерность толщины пленки за счет дозированной подачи текучего материала точно на центр вращающейся поверхности. Кроме того, устройство позволяет обрабатывать пластины разных диаметров. Формула изобретения 1.Устройство для нанесения текучего материала на пластины, содержащее корпус, сборник текучего материала со смонтирован
