Магниторазрядный насос Советский патент 1980 года по МПК H01J41/12 

Изобретение относится к области вакуумной техники и может применяться в установках для градуировки манометрических преобразователей, для покрытия металлами поверхностей в вакууме, в установках электронно-лучевой сварки и в других устройствах, где необходима безмасляная откачка до высокого и сверхвысокого вакуума.

Известны магниторазрядные насосы с анодом, представляющим собой набранную из трубчатых ячеек сотообразную конструкцию 1.

Такие насосы обладают слаборазвитой эффективной поверхностью сорбции анода и сравнительно невысокой скоростью газопоглощения, которые обусловлены наличием между ячейками неактивных зон. В этих зонах из-за малости не только не загорается тлеющий разряд, определяющий собой ионную откачку, но и ограничивается поверхность оседания распыляемого с катодов геттера, характеризующая скорость поглощения газов на аноде.

Известен также магниторазрядный насос, содержащий анод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками 2. Расположение ячеек в аноде этого насоса таково, что на тридцать две из них приходится одна больщая ячейка другой конфигурации, образованная частью наружных поверхностей двенадцати цилиндрических ячеек. Такое техническое рещение, хотя и позволяет несколько повысить быстроту откачки за счет сочетания ячеек больщего и меньщего диаметров, но не обеспечивает развитой поверхности сорбции анода вследствие сохранения в нем неактивных зон.

Целью изобретения является увеличение эффективной поверхности сорбции анода.

Данная цель достигается тем, что ячейки

расположены попарно соприкасающимися

в параллельных рядах, при этом ячейки пар

прилегающих рядов также соприкасаются

и смещены одна относительно другой таким

образом, что расстояние между их продольными осями равно радиусу ячейки.

На чертеже показан анод предлагаемого насоса.

Анод составлен пз цилиндрических ячеек 1, расположенных попарно соприкасающимися в параллельных рядах. Пары прилегающих рядов взаимно смещены, а ячейки пар этих рядов соприкасаются. При этом расстояние между продольными осями смещенных ячеек равно радиусу ячейки. В результате такого распределения образуются ячейки 2, внутренней поверхностью которых служит наружная поверхность ячеек 1. В ячейки 2 вписываются цилиндрические ячейки 1.

При работе насоса в разряде происходит катодное распыление. Распыленный с катодов геттер оседает на развитую поверхность анода, образуя пленку, способную сорбировать газ. При этом вся анодная новерхность становится эффективной в откачке.

Поглощение активного газа осуществляется в результате химического взаимодействия атомов и молекул газа с частицами геттерной иленки. Хорощо поглощаются и инертные газы. Попадая в угловые внадины ячеек 2, они легко замуровываются там свежим слоем геттера.

Формула изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий анод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью увеличения эффективной поверхности сорбции анода, ячейки расположены попарно соприкасающимися в параллельных рядах, ири этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются и смещены одна относительно другой таким образом, что расстояние между их продольными осями равно радиусу ячейки.

Источники информации,

нрипятые во внимание при экспертизе

1.Левин Г. Основы вакуумной техники, М., «Энергия, 1969, с. 171.

2.Патент США № 3.364.370, кл. 313-7, онубл. 1968 (прототип).