Магниторазрядный насос Советский патент 1979 года по МПК H01J41/12 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам создания вакуума. Известны магниторазрядные насосы, содержащие плоские катоды из геттерного материала и анод, выполненньш в виде взаимно перпендикулярньк рядов проволок,образующих ячейки 1 Недостаток таких насосов заключается в том, что разрядные пучки ячеек расплываются по аноду в результате слабой продольной концентрации ра ряда в них, что снижает зффективность ионизирующих столкновений электронов и нейтральных частиц газа. Также известны магниторазрядные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде рядов гараллельных пластин 2. В таких Насосах ячейки анода образуют малопроницаемую структуру Для распыляемого с катода геттера. В результате количество геттерного материала, которое способен пропустить ячеистый.анод, оказьгоается недостаточным для покрытия на противоположном катоде внедрибщихся в него ионов и часть газа при ионной бомбардировке катода выделяется в откачиваемый объем. Цель изобретения - повышение быстроты откачки путем расцшрения сферы дeйcfвия распьшяемого геттерного матфнапа. Поставленная цель достигается тем, что соседние ряды параллельных ппастин смещены один относительно другого и скреплены между собой стержнем проходящим перпендикулярно пласти-нам. Ряды параллельных пластин смещены один относительно другого на половину расстояния между пластинами. На фиг, 1 показана анодно-катодная система насоса, шперечньп разрез; на фиг. 2 - анод, насоса. Насос содержит плоские катоды 1, выполненные из геттерного материала, анод 2 и магнитную систему (не 1Юказана). Анод соетавлен из параллельных пластин 3, установленных рядами с определенным расстоянием между пластинами. Пластины прилегающих рядов смещены одна относительно другой на половину расстояния между ними и скреплены