Травильный раствор Советский патент 1980 года по МПК C03C15/00 

Изобретение относится к технолог обработки кварцевых стекол и может быть использовано в оптико-электрон ной промышленности при изготовлении оптических деталей. Известен травильный раствор 1 включающий, вес.%: Фтористоводородная кислота50-60 Азотная кислота20-30 Полиакриламид1-5 ВодаОстально Указанный раствор используют пре имущественно для обработки фосфатны стекол. Скорость травления 0,50-0 69 мкм/мин. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является травильный раствор 2, включающий, вес . % Фтористоводородная кислота58,5 Бифторид аммония4,5 Глицерин27,5 Вода9,5 Наличие органической добавки (гл церина) позволяет регулировать про цесс травления. Однако при обработке кварцевых стекол в данном растворе наблюдает ся неравномерный съем фазовых ксмпонентов кварцевых стекол, на поверхности образуются микронеровности (ямки и впадины). Применение этого раствора для полирования кварцевых стекол не приводит к повышению класса шероховатостиобработанной поверхности, кроме того, не обеспечивается равномерность обработки по всей поверхности. Кварцевые стекла, обработанные в указанном растворе, не обладают блеском, присущим полированным поверхностям. Процесс травления в таком растворе протекает с низкой скоростью. Целью изобретения является повы-;шение скорости травления. Цель достигается тем, что трави.пьный раствор, включающий фтористоводородную кислоту, глицерин и воду, дополнительно содержит полиакриламид при следующем соотношении компонентов вес.%: Фтористоводородная кислота55-65 Глицерин15-20 Полиакриламид3-5 Вода(остальное Пример. Растворы приготав.г1Ивают путем смеиюния водных pairrBopoB

полиакриламих1а (8%-ный) и глимерннл с фтористоволородной кислотой (70%-ная)

Рез у л ьта ты ера i н нчсл ьяых иг.пыт ;э и ий приведены п таблице.