Растровый электронный микроскоп Советский патент 1980 года по МПК H01J37/28 

(54) РАСТРОВЫЙ ЭЙЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

нёдОстатком йдвёстного устройст;; ва также является невысокая информативность изображения.

Цель предлагаемого изобретения повышение информативности изобрйжё; НИН.

Для этого устройство лрполнительно содержит линию задержки и фазо вый детёКтор, входов которого подключен к выходу детектора электронов, другой - через линию задержки к выходу генератора импульсов, а выход - к входу видеоконтрольного устройства.

Такое выполнение устройства позволяет отобразить, на йсей площади экрана видебконтрольного устройства инфй рмацию о топографии каждого злемеита поверхности исследуемого участка объекта, содержащуюся в телесном угле , описыв а емом э он дом вокруг каждого такого элемента. Это осуществляется путем регистрации временного разбаланса между сигналами с, какого-либо элемента ийследуемо; го участка объекта, полученными в результате воздействия на него импульсного электронного зонда, при йэменении его угла падения на этот элемент и опорным сигналом от генератора импульсов. Таким .образом, на экране ВЙУ получается (многоракурсное) псёвдоголографическое изображеииё исследуемого участка объекта, йнф грштйвность котоЕ ого на порйДок выше информативности стреоизображе : НЙЯ

ria чертеже изображен, предлагаемьй микроскоп, где показали: эЛектрбнная пушка 1, управлямциШ. электрод 2 электронной пушки, система 3 формирований ЪЛёктронйбгЪ зонда, отклонянздая система 4, генератор 5 разверток, система б Наклона зонда по отношению к объекту, исследуемый объект 7, детектор 8,электронов, фазовый детектор 9, лиция 10 задержки, генератор 11 импульЬов, видёо. контрольное устройство 12.

Микроскоп работает следующик рбразом.,-.-.,...--,-..

.. - Электронная пушка 1 эмиттирует . элекгронный пучок, который формируется системой 3 ё электронный зонд малого диаметра. Сформированный электронный зонд стробируется путем подачи сигналов о.т генератора 11 ип ульсов на управляющий электрод 2 электронной пушки 1, В результате стробирования электронный зонд воздействует на объект В течение. врё 1 ёйй, определяемом длительностью . импульса от генератора 11. Сигнал с какой-либо точки объекта 7, на которую в данный мо1мёнт воздействует .v .электронны зонд в тёчёййе врёмёйй, -р-авйом длительности одного импульса генератора- 11, рёЗ ИйТрйруется дётёк-тором 8 электронов и поступает на

вход фазового детектора 9 одновременно с опорный Сигналом от генератора 11 импульсов, который предварительно, пропускается через линию 10 задержки, предназначенную для компенсации времени пролета электронов от электронной пушки 1 до объекта 7. Фазовый детектор 9 вырабатывает сйгнал, величина которого пропорциональна временному разбалансу между сигналомс объекта и опорным сигналом

Ют генератора 11 импульсов, величин указанного разбаланса определяется топографией поверхности объекта. Сигнал с выхода фазового детектора 9 регистрируется на экране видеоконтрольного устройства.12,

Сигнал от генератора 11 импульсов подается также на один из входов генератора 5 разверток. При поступлении каждого импульса генератор 5 разверток выдает сигнал на вход систе№л б наклона зонда по отношению к объекту, которая изменяет угол падения зонда на исследуемую точку объекта, после чего операции повторяются.

Полученный сигйал также, регистрируется на экране видеоконтрольного устройства 12, в строго определенном месте, поскольку работа системы 6 наклона зонда по отношению к объекту и

развертка луча на экране видеоконтрольного устройства 12 осуществляется синхронно.

Количество положений зонда, при которых исследуется каждая точка

объекта 7, зависит от объема пересчетного устройства генератора 5 разверток. После того, как весь объем пересчетного устройства генератора 5 разверток исчерпан, генератор 5 разверток выдает сигнал н отклоняквдую систему 4 о переходё к следукядей точке исследуемого участка объекта 7, для которой весь процесс повторяется. После прохождения зондом всех точек исследуемого участка

объекта 7 на всей площади экрана видебконтрольного устройства 12 оказывается записанной информация о топографии . поверхности исследуемого участка объекта, содержащаяся.в телесном угле, описываемом зондом вокруг каждого такого элемента поверхностй, т.е. на экране будет получена псевдоголограмма, полученная радиотехническим методом.-При освещении

полученной голограммы лучом лазера на экране получается объемное изображение поверхности объекта.

Формула изобретения

Растровый электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, систему формирования электронного зонда, отклоняющую систему с- генератором 65 разверток, генератор импульсов, два

выхода которого подключены соответственно к входу генератора разверток и управляющему электроду электронной пушки, систему наклона зонда по отношению к объекту, подключенную к выходу генератора разверток, детектор электронов и видеоконтрольное устройство, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения информативности изображения, он дополнительно содержит линию задержки и фазовый детектор, один из входов которого

подключен к выходу детектора электронов, другой - через линию задержки к выходу генератора импульсов, а выход - к входу видеоконтрольного устройства.

Источники инфо1 1ации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент Великобритании

-№ 127,6364, кл. Н 1 Д, опублик. 1972.

2.Заявка Японии 49-29091,

0 кп. 99 С 31, опублик. 1974.

LiJt &1 А М /2