Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами Советский патент 1993 года по МПК G01B11/02 

О

ю

о ю

,55

Нэобретечне относится к измерительной тпхнике, в частности к способам измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотош-аблонах для литографии.

Цель изобретения - повьпвенне точности измерения ширины непрозрачных. линий за счет изменений поляризации излучения.

На чертеже изображен пример выбора участков для измерения на фотошаблоне.

Осуществляется описываемый способ следующим образом.

Объектом с прозрачными и непрозрачными зонами может быть, например, фотоигаблон для литографии, состоящий из кварцепой подложки с тонким (,1 мкм) хромовым покрытием Измерения могу быть проведены с использованием микроскопа-фотометра МРУСД и оптического излучения с длиной волны 0, мкм (зеленая линия).

Освещают измеряемый объект электромагнитным монохроматическим излучением, линейно поляризованным так, что 6- случае- измерения прозрач

ной линии ее границам был бы парал

.

лелей вектор магнитной -напряженности а в случае измерения непрозрачной линии т вектор элeктpичeckoй напряженности. Практически используется один и тот же источник линейно- по ляризованного Излучения. Векторы магнитной и электрической напряженности в Электромагнитной волне перпендикулярны дру другу. Последова- тельно измеряют иптенсивностиизлучения прошедшего через три одииако вых по размерам прямоугольных участк измеряемого объекта.

.Один участок выбирают на проэра.Ч - ноЙ зоне объекта, др угой участок 2 - на непрозрачной, а третий участок 3 включает часть измеряемой линии с частью зоны объекта, контактирующей с этой часть линии и противоположной ей по свойствам пропускания из- лучёйия, одна пара сторон третьего участка параллельна линии, а другая пересекает ее.

Ширину линии определяют по ле. , ,,-.

.л ,

jc

л . 25

30

35

40

,

50

, 1 J- I М . х„

------- b (.ДЛЯ прозрачной

линии)

d - Ь (для непрозрачной

с - м

, где d - ширина измеряемой линии;

1р- интенсивность излучения, прошедшего через участок на прозрачной зоне объекта;

интенсивность излучения, прошедшего, через участок на непрозрачной зоне объекта;

интенсивность излучения, прошедшего через участок, содержащий Часть измеряемой линии;

b - длина стороны участка, перпендикулярной измеряемой

линии.

I

Формула изобретения

Способ измерения ширины линий рисунка на объектах с прозрачными и непрозрачными зонами, например на фотошаблонах для литографии, заключающихся в том, что освещают объект при измерении прозрачных линий электромагнитным монохроматичным излучением, линейно поляризованным так, что вектор магнитной напряженности ния параллелен границам измеряемой линии, измеряют интенсивность излучения, прошедщег о через три одинаковых по размерам прямоугольных участка измеряемого объекта;, один из которых выбирают на непрозрачной зоне, другой на прозрачной, третий включает часть измеряемой линии с частью зоны объекта -контактирующей с этой частью .-линии и противоположной ей по свойствам пропускания излучения, одна пара сторон третьего участка параллельна линии, а другая(Пересекает ее, и с учетом измеренных интенсивностей определяют ширину линии, о т л и - ч а к щ и и с я тем, что, с целью повйпиения точности измерения ширины . непрозрачных линий за счет изменения поляризации излучения, при измерении непрозрачных линий исполь- эуЬт излучение с вектором электрической напряженности, параллельным границам измеряемой линии.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к спо собам измерения ширины линии рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны, например на фотошаблонах для литографии. Цель изобретения - повышение точности измерения ширины непрозрачных линий за счет изменения йоляриэации излучения. При измерениях непрозрачных линий объект освещают линейно поляризованным монохроматическим электромагнитным излучением с вектором электрической напряженности, параллельным границам измеряе {оЙ линии. 1 ил.

ВНИИПИ Заказ 2828

Прои.9в.-пол1 гр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Тираж 604 Подписное