Предлагаемый прибор дает возможность наблюдать интерференционную картину исследуемой поверхности и благодаря этому определять качество обработки поверхности изделий с большей точностью.
Схема прибора показана на чертеже.
Лучи, выходящие из вертикальной щели S, освещенной каким-либо источником белого света, попадают на полупрозрачное зеркало М. Часть их, отраженная от зеркала М, пройдет через объектив микроскопа О и даст на наблюдаемом объекте Т изображение щели затем лучи пройдут через зеркало М, цилиндрическую линзу С, ось которой лежит в плоскости чертежа, и дадут изображение 5i щели S. Часть лучей, прошедшая полупрозрачное зеркало М в горизонтальном направлении, -проходит через второй микрообъектив О2, попадает на систему из двух зеркал PI и PZ, составляющих прямой угол друг с другом, и образует в пространстве между зеркалом изображение щели 5.
После отражения от зеркал PI и РЙ и прохождения обратно через объектив Oz лучи, отразившись вверх от зеркала М и пройдя через цилиндрическую линзу С, дают второе изображение 2 щели 5.
При достаточно малой ширине щели S изображения 5, и 52 будут испускать когерентные лучи и, в случае плоского объекта Т, будут подобно изображениям щели в любой из схем фремелевской интерс|)еренции давать интерференциониую картину, рассматриваемую окуляром О. Если окуляр О будет установлен таким образом, что в него будут четко видиы изображения щели S без цилиндрической линзы С, или, иначе говоря, лучи, исходящие из точек 5з и лежащие в плоскости, проходящей через ось цилиндрической линзы С, будут давать изображения в предметной плоскости окуляров О, то интерференционная картина, наблюдаемая в окуляр в каждом ее сечении плоскостью, перпендикулярной изображениям щелей 5j и 52, будет характеризоваться расстоянием соответствующей точки 5з от некоторой постоянной плоскости. Если поверхность Т не будет плоской, то сдвиг центральной полосы будет пропорционален этому расстоянию. Иначе говоря, интерференционные поло:сь1 буду|Т ИЗВИЛИСТЫМИ, а их форма будет воспроизводи(гь профиль проверяемой поверхности в сечении, определяемом местом изображения.
Предмет изобретения
1.Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении, основанный на получении интерференции ог двух изображений источника света, одного отраженного испытуемой поверхностью и имеющего разности хода, и второго, образованного совершенной оптической системой, отличающийся тем, что в качестве источника света применяют щель, изображение которой проектируют на испытуемую поверхность, а для раздельного наблюдения интерференции в областях, соответствующих каждой точке сечения поверхности, на пути обоих интерферирующих пучков располагают асигматическую систему.
2.Прибор для осуществления способа по п. 1, выполненный в виде микроинтерферометра Линника, отличающийся тем, что в качестве источника света в нем применена щель, лежащая в плоскости симметрии прибора, проектируемая на испытуемую поверхность и на эталонную поверхность, выполненную в виде двойного зеркала с двухгранным прямым углом, биссектриса которого расположена в плоскости симметрии прибора и который назначен для смещения одного изображения щели относительно другого, а между диагональным зеркалом микроинтерферометра и окуляром установлена цилиндрическая линза.
3.Прибор по п. 2, отличающийся тем, что для наблюдения интерференции, соответствующей каждой точке сечения используемой поверхности, применена цилиндрическая линза, установленная между диагональным зеркалом микроинтерферометра и его окуляром.
- 2 -№ 72947
dP
