Способ калибровки течеискателя Советский патент 1980 года по МПК G01M3/40 

Изобретение относится к области маши ностроения и может быть использовано пр подготовке масс-спектрометрических тече- искателей к испытаниям на герметичность Известен способ калибровки течеискателя, заключающийся в том, что к тече- искателю подсоединяют контрольную i-ечъ известной величины, пропускают весь поток контрольной течи через течеискатель, при этом определяют отсчет прибора тече- искателя, а чувствительность рассчитывагют с учетом известной величины потсжа контрольной течи и отсчета прибс а течеискателя, наблюдаемого в процессе калибровки 1|. Недостатком этого способа является невысокая точность в подсчете чувствительности, вызванная погрешностью в определении потока контрольной течи и нелинейностью отсчета прибора течеискателя при малых потоках. Наиболее близким по технической сущ.ности и достигаемому результату к изоб- ретению является способ калибровки течеискателя, заключающийся в том, что raipeделяют величину потока контрольной гелиевой течи, встроенной в течеискатель, и разность показаний прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и остаточного пика гелия фонового отсчета и рассчитывают реальную чувствительность течеискателя с учетом погрешности определения потока от контрольной гелиевой течи Недостатком известного способа явл$1ется небольшая точность определения реальной чувствительности течецскателя,рассчитанная без учета: Конкретных условий работы течеискателя при испытаний. Цель изобретения - повьпиение точности при сЯфеделении реальной чувствительности течеискателя. Это достигается тем, что определяют реакционную способность течеискателя по остаточному пику гелия фонового от счета, затем в зависимости от реакционной способности и заданной чувствител ности при испытании Быб1фают оптимальпный режим работы диффузионного насоса течеискателя, после чего дсяюлнительно измеряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и фоновы остаточные показания и onpeaeasnoT истин ное значение величины потока контрольной гелиевой течи, а реальную чувствительность рассчитывают по фсрмуле: КЛФ гае $),. реальная чувствительность тече ис ката ля истинное значение величины потока контрольной гелиевой течи;показания прибора течеискателя от кситрольной гелиевой течи; -фоновые остаточные показания прибора течеискателя; -реакционная способность течеискателя -, С MB На фиг. 1 изображена зависимость реа пионной способности течеискателя от оста точного фонового отсчета и заданной степени герметичности при испытании; на фиг. 2 - зависимость реакционной способности течеискателя от режима работы диф фузионного насоса (мощности подогревателя Способ осуществляют следующим образом К течеискателю подсоединяют контроль ную гелиевую течь известной величины, определяют показания прибора течеискате- ля от контрольной гелиевой течи (сАц), остаточный пик гелия фонового отсчета (с.ф), затем по номограмме (фиг. 1) выбирают необходимую реакци(шую способность течеискателя Рр зависимости от с.ср и заданной степени герметичности при испытании Q ф . После этого по номо грамме (фиг. 2) выбирают работь диффузионного насоса течеискателя Wj-j в зависимости от необходимой реакционной способности, затем дополнительно измеряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи, фоновые остаточные показания и достоверный отсчет течеискателя Л л , равный удвоенному значению флуктуации (, и сярецелшот истинное значение величины контрольной гелиевой течи по формуле: иeт,.v.к.т коэффициент, где К 2(с«чфл: -с,) учитывающий временное изме нение пар аме 1 ров схемы течеискателя, а реальную чувствитедьност1 рассчлтьпюют по формуле; g. QVNM С,,. Предлагаемый способ позволяет определить реальную чувствительность, течеискателя с учетом условий проведения испытаний. Формула изобретения Способ калибровки течеискателя, заключающийся в том, что определяют величину потока контрольной гелиевой течи, встроенной в течеискатель, и разность показаний прибора течеискателя от кся1трольной гелиевой течи и остаточного пика гелия фонового отсчета, реальную чувствительность течеискателя рассчитывают с учетом погрещности определения потока от контрольной гелиевой течи, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности при (жределении реальной чувствительности течеискателя, определяют реакционную способность течеискателя по остаточному пику гелия фонового отсчета, затем в зависимости от реакционной способности и заданной чувствительности при испытании выбирают оптимальный работы диффузионного насоса течеискателя, после чего дополнительно измеряют показания прибора течеискателя от контрольной гелиевой течи и фоновые остаточные показания и определяют истинное значение величины потока ксж тральной гелиевой течи, а реальную чувствитедьность рассчитывают по формуле. е, k. где Ъ(Э| - реальная чувствительность течеискателя , Qyvct- истинное значение величины потока кситрольной гелиевой течи;РС.т - показания прибсра течеискателя от контрольной гелиевой течи;Оч ф - фоновые остаточные показания npH6qpa течеискателя, R/4- - реакционная способность течеА кд искателя - - мрт.ст в Источники 1шформации, принятые во внимание при экспертизе 1.Ланис В. А. и Левша Л. Е. Техника вакуумных испытаний. М., Энергия, 1963, с. 162. 2.Течеискатель гелиевой ПТИ-7. Выпускной аттестат, техническое описание и инструкция по эксплуатации, с. 1 4 (прототтг).

необходимой Rc.u.8 зати и УФ

l/j-MHpr.CTl .... /

}П

-г.

фu.f

WO200за ОitOU

Выбор режима pajorrtbi паЗогреоателл wn о saSucuMOcmvот (.2