Состав для очистки деталей Советский патент 1980 года по МПК C23G1/02 

(54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к области химической обработки изделий, в част ности к очистке деталей от загрязнений органического и неорганического характера, и может быть использовано в радио и электронной промышленности Известен состав для очистки деталей, содержащий серную кислоту и пер кись водорода 1. Этот состав удаляет органические вещества с полупроводниковой подложки. Однако использование этого соста ва для очистки деталей, прошедших предварительную обработку - шлифовку и полировку с пастой ТОЙ, не сзбеспечивает качественной очистки. Целью изобретения является повышение эффективности очистки деталей, имеющих микроотверстия. Это достигается тем, что состав Для очистки дополнительно содержит антистатическую добавку и хлор-фторхлорзамещенный углеводород при следующем соотношении компонентов, Серная кислота Перекись водорода Антистатическая 0,03-0,05 добавка Хлор,-фторхлорзамеОстальноещенный углеводород При этом в качестве хлор,-фторзамещенного углеводорода используется трихлортрифторэтан или дифтортетрахлорэтан. В качестве антистатической добавки используется антистатик Фотон (ТУ6-15-983-76) . Введение хлор,-фторхлорзамещённого углеводорода (фреона-ИЗ) снижает вязкость раствора и поверхностное натяжение, в результате повы(иается эффективность растворенных связующих, пасты ГОИ. Введение в став антистатика предотвращает нал11пание посторонних частиц во время обработки, промывки, сушки, транспортировки и хранения деталей. Состав готовят сливанием расчетных количеств перекиси водорода, трихлортрифторэтана или дифтортетрахлорэтана и антистатика.. Полученную смесь добавляют к серной кислоте. В табл. 1 приведены результаты сравнительной очистки капиллярного керамического инструмента без воздействия ультразвука при температуре . Очистка деталей может также производиться прииспользовании ультразвуковых колебаний. При этом время обработки сокращается до 3-5 мин и выход годных увеличивается до 96-99%,

Данные по очистке деталей с исполь эованием ультразвука приведены в табл.2 типа Очищалось Серная кислота 70 Перекись водо15 шт, отверстияАнтистатик вскрылись Трихлортрина 1 щт фторэтан OcTaj b Очищалось Серная -кислота 82 15 шт, Перекись водорода15отверстие Антистатик 0,04 вскрылось на 1 шт Трихлортрифторэтан ОстггльноеОчищалось Серная кислота 94 15 шт, Перекись водо- 5 отверстия рода Антиститик 0,03 вскрылись на шт ТрихлортркфторэтанОстальОчищалось Очищалось

50 15 ш::,20 шт,

93,75

отверстия отверстия не

6,25 не вскры- вскрылись лись

100 Очищалось Очищалось

сос15 ш-г, :20 шт, отверстия отверстия . не вскры-- не вскрьшись лись

Из данных таблиц видно, что использование предлагаемого состава вдвое сокращает время обработки и значительно повышает качество очистки капиллярных каналов.

Таблица 1

6 ,6 65 80

6 ,6 70 90

000

О О 30

О О 50 Качество очищенных капиллярных инструментов проверялось на микроскопе БМИ по количеству проходящего света через сечение отверстия. Очищалось Очищалось 20 шт, отверс- 10 шт отверстин вскрьзшись тия вскрылись на 20 шт, на 10 шт, 2 шт, 7 шт,отверстия имеют частицы в сечении отверимеют прилипшие стия частицы в сече НИИ отверстия Очищалось Очищалось 20 шт, отверс- 10 шт, отверстие вскрылось тия вскрыты на на 20 шт, на 10 шт, 1 шт 6 шт, отверстия имеет прилипшие имеют прилигаииечастицы в сечастицы в сече-чении отверснии отверстия тия О-чищалось 10 шт,6,б 75 90 Очищалось 1 шт, имеет при20 шт, отверслипшие частицы в тия. вскрылись на 20 шт, на сечении отверс5 шт, отверстиятия имеют прилипшие, частицы в сечении отверстия

Серная кислота Перекись водорода Антистатик Трихлортрифторэ тан

Серная кислота Перекись водорода Антистатик Ти хлортрифторэ тан

Серная кислота Перекись водорода Антистатик Трихлортрифторэ та

Серная кислота Перекись водорода Антистатик Дифтортетрахлорэ т

Формула изобретения

Серная кислота

70-94 Перекись водорода 5-25 Антистатическая добавка

0,03-0,05

Таблица 2

9798

96

Отверстие капилляра чистое по Bcei сечению

9899

97

. (

I

97

9796

9899

98

Хл ор, - фто рхл орзамещенный углеОстсшьноеводород

ч

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Великобритании №1427482, кл. В 6 J, 1976.