Способ измерения перемещения объекта Советский патент 1980 года по МПК G01B17/02 

1

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения малых линейных и угловых перемещений материальных тел.

Известен способ измерения микроперемещений объекта, заключающийся в том, что создают пространственно-периодическое поле и движение контролируемого объекта относительно поля пространственно-периодической структуры приводит к периодическому изменению сигнала на выходе детектора, сопряженного с перемещающимся объектом 1. В простейщем случае перемещения объекта могут фиксироваться с точностью до одного периода пространственно-периодического поля, что ограничивает разрещающую способность измерения.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ измерения перемещений объекта, заключающийся в том, что создают физическое пространственно-периодическое поле, размещают в нем контролируемый объект, измеряют с помощью детектора величину электрического сигнала, связанного с изменением положения объекта относительно физического пространственно-периодического поля, и о перемещении судят по величине электрического сигнала 2.

Недостатком этого способа измерений является сложность, а также малая разрещающая способность измерения микроперемещений.

Сложность обусловлена необходимостью использования высококачественных оптических систем, а также промежуточных преобразователей оптического сигнала в электрический.

Повыщение разрещающей способности измерения микроперемещений связано с необходимостью уменьщения периода растровой рещетки.

Цель изобретения - уменьщение процесса измерения и повыщение его разрещающей способности.

Поставленная цель достигается тем, что создают неподвижное пространственно-периодическое электрическое поле с помощью стоячих поверхностных акустических волн, распространяющихся в пъезоэлектрике, а детектор устанавливают на контролируемом объекте.