Магниторазрядный насос Советский патент 1980 года по МПК H01J41/12 

1

Изобретение относится к средствам| получения высокого вакуума, в частности, к магниторазрядным (электроразрядным или ионным} вакуумным насо- j сам с малой быстротой откачки.

В серийных образцах магниторазрядных насосов, основанных на параллельном соединении большого числа ячеек Пеннинга, эффективная быстрота откач-|Q ки одной ячейки составляет 0,250,3 л/с, что значительно ниже предельных значений 1,5-3 л/с. Быстрота откачки, в частности, ограничивается вакуумной проводимостью зазоров меж- ., ду анодом и катодами и ограничением откачки на входном фланце насоса. Неравномерное использование отдельных, ячеек ведет к необходимости увеличения мощности насосов и ;: удорожанию jn средств получения высокого вакуума.

Известен магнитозарядный насос 1 , содержащий анод в виде полого металлического цилиндра, цилиндрический катод, расположенный соосно с ано- «5 дом, с закрепленными на нем перпендикулярно его оси дисками и магниты, создающие осевое магнитное поле. Известный насос представляет собой неCKLoibKO последовательно установленных магнетронных ячеек. Сообщение ячеек с откачиваемым объемом и друг с другом осуществляется через узкие кольцевые щели с малой проводимостью между анодным цилиндром и катодными дисками. Недостатком известного насоса является неравномерность использования отдельных ячеек, малая эффективность откачки газа удаленными от места присоединения к объему ячейками. Другим недостатком известного насоса является невозможность значительного увеличения числа ячеек, что связано с трудностями получения протяженных однородных магнитных полей.

Известен также магниторазрядный насос, содерх ащий цилиндрический катод, в полости которого размещены магниты, разделенные шайбами из магнитомягкого материала, и цилиндрический анод, расположенный снаружи катода 2 . Однако, этот насос имеет недостаточно высокую быстроту откачки из-за малого тока разряда, возникающего при неоднородном магнитном поле.

Целью изобретения является повышение быстроты откачки насоса.

С этой целью анод предлагаемого насоса выполнен сетчатым, а внутри