Магниторазрядный насос Советский патент 1979 года по МПК H01J41/12 

Изобретение относится к вакуумным магниторазрядным насосам средней и высокой производительности ( 5 300 с и может быть полезным для обеспечения сверхвысокого безмасляного вакуу ма Б больших имитационных камерах при моделировании условий космическо го пространства, в напылительных ус тановках при получении тонких пленок и в ряде других устройств и технологических процессов. Известны магниторазрядные насосы, работа которых основана на высоковольтном разряде в ячейке Пеннинга 1 У такого насоса мала скорость откачки. Известен также магниторазрядный насос, содержащий, плоские катоды из геттерного материала и анод с размещенными в ряды ячейками, который позволяет увеличить быстроту откачки эа счет использования в одном насосе электродного блока, состоящего из большого числа анодных ячеек, и общего катода 2 . Однако в электродном блоке по длине анода имеет место градиент давле-. ния, величина которого тем больше, чем длиннее анод при прочих равных условиях, в результате этого ячейкианода используются неравномерно. Те из ячеек, которые расположены в нижней части анода относительно проходного отверстия насоса, работают менее эффективно, чем ячейки, размещенчые в верхне- части блока. Цель изобретения - увеличение эффективной быстроты откачки насоса. Поставленная цель достигается тем, что каждая ячейка предлагаемого насоса выполнена из двух одинаковых частей, отстоящих в вертикальном ряду от плоскости, проходящей через оси ячеек этого ряда на расстоянии, равном одной десятой диаметра ячейки, а образовавшимися щелевыми зазорами ячейки по длине анода сообщаются между собой. На фиг. 1 показан карман насоса, поперечный разрез; на фиг. 2 - анод насоса в плане. Магниторазрядный насос содержит два плоских катода 1 из геттерного материала, анод 2 с размещенными в ряды ячейками 3. Магнитная система 4 создает роле, силовые линии которого направлены вдоль оси анодной ячейки перпендикулярно катодным пластинам. Каждая ячейка 3 составлена из двух частей 5, в каждом вертикальном ряду 3 ячейки 3 по длине анода сообщаются между собой посредством щелевых зазоров шириной а При работе насоса под действием высокого электрического напряжения, приложенного между анодом и катодами и осевого магнитного поля в электрод ном промежутке происходит ионизация газа электронным ударом. Положительные- ионы, образующиеся вследствие актов ионизации, ускоряясь электрическим полем, уходят на катоды 1 и внедряются, в них. Откачивающая спо собность насоса определяется интенси ностью ионизации. В области, охватываемые составным частями ячеек 3, вовлекается разрядо большое количество частиц газа, причем ионизирующие столкновения после них с электронами в этих областях наиболее вероятны,Благодаря зазору,г распределяется равномернее по всем ячейкам каждого вертикального ряда, так что градиент давления по длина аноДно-катодного блока уменьшается, Этим обеспечивается более полная нагрузка на все анодные ячейки. Интен сивность ионизации при этом возраста ет, в.результате чего повышается быстрота откачки, 7 При соотношении ширины зазора и диаметра ячейки, равном одной десятой, краевые эффекты от наличия зазоров невелики и не искажают условий разряда по сравнению с нзвестньгм насосом. Формула изобретения Магниторазрядный насос, содержащий плоские катоды из геттерного материала и анод с размещенными в ряды ячейками, -отличающийся темр что, с целью увеличения эффективной быстроты откачки насоса, каждая ячейка выполнена из двух одинаковых частей, отстоящих в вертикальном ряду от плоскости, проходящей через оси ячеек этого ряда на расстоянии, равном одной десятой диаметра ячейки, а образовавшимися щелевыми зазорами ячейки по длине анода сообщаются между собой. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе; 1, Левин Г. Основы вакуумной тезгникис М., Энергия, 1969, 2 о Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы. М,, Энергия, 1970, с. 66

SSS

Ригл