Устройство для ориентации объектов на плоскости Советский патент 1980 года по МПК H05K13/02 

моугольника. К ребрам G прикреплены пьеэокерамические преобразователи 3,, не менее трех на каждой стороне. Пьеэокерамические преобразователи 3, прикрепленные на одной стороне ребра 6, подключены к генератору со сдвигом по фазе на Збо (п - число пьезокерамических преобразователей на одной стороне ребра). Пьезокерамические элементы 3, прикрепленные к противоположным сторонам ребер б, подключены синфазно. На концах ребер выполнены пазы 7. Каретка 2 фрикционно сопряжена с ребрами б.

Работа устройства заключается в следующем.

При подключении пьезокерамических преобразователей 3 к генератору (на чертеже .не показано) , работающему на частоте продольного резонанса, в ребре б возникает продольная ультразвуковая волна, перемещающая каретку 2. Пазы 7 на ребрах служат для гашения отражения волны. Для осуществления перемещения в нужном направлении бегущая волна возбуждается в ребрах б параллельных направлению перемещения. Для изменения направления перемещения изменяется направление распространения волны, т.е. нап ра вление сдвига фазы. Для поворота каретки 2 в противоположных ребрах 6 возбуждаются продольные бегущие волны, распространяющиеся в противопоожных направлениях.

Проведенные испытания показали, то устройство хорошо работает при

размерах основания не менее 1,5 длины ребра:, толщинеоснования не менее 1/8 длины ребра, толщине ребра не более 0,3 толщины пьезокерамических преобразователей и глубине углублений 0,2 толщины ребра;

Предлагаемое устройство обеспечивает увеличение диапазона перемещений по координатам X и У до 40-60 мм и поворот по углу на ЗбО , повышает точность перемещений до 0,02-0,05 мкм и позволяет упростить конструкцию.

Формула изобретения

Устройство для ориентации объектов на плоскости, содержащее каретку, основание и деформируемые элементы, соединенные с пьезокерамическими преобразователями, о т л и ч а 0 ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей, деформируемые элементы выполнены в виде Ё)ебер, образованных прямоугольным отверстием и параллельными его сторонам, пазами, выполненными в основании, причем пьезокерамические преобразователи размещены на боковых сторонах ребер..

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР 470030, кл. Н 01 V 7/00, 1974.

2.Авторское свидетельство СССР № 565004, кл. В 65 Q 27/00, 1975 (прототип) .