(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
ТРУБЧАТОГО ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕ.ЛЯ
1
Предполагаемое изобретение относится к области электротермии, а имен- но к устройствам для изготовления трубчатых электронагревателей (ТЭН), и может быть использовано, например, в полупроводниковой промьашленности для изготовления электронагревателей , применяемых для нагрева подложкодержателей на операциях высокоТемпературной обработки.
Известно устройство для изготовления ТЭН, содержащее зажимы для крепления резистивного элемента, центрирующую втулку, соединенную с механизмом подъема гибкой связью. Напол- 15 нйтель подают в трубку из воронки, а для уплотнения его последняя взаимодействует с вибратором Ш.
Недостатком известного устройст- 20 ва является то, что оно не позволяет получать равнополярность шага уложенной спиргши. При засыпке и уплотнении наполнителя происходит изь№- нениё шага спирали: внизу - сжатие ее,/ вверху - растяжение. Такое изменение шага спирали (резистивного элемента) приводит к ухудшению равномерности нагрева на поверхности труйки ТЭН. Соединение центрирующего 30
элемента с механизмом подъема усложняет конструкцию устройства.
Известно устройство для изготовления трубчатого электронагревателя, содержащее выполненной гибким фиксирующийэлемент, замок для захвата резистивного элемента. Крепление резистивного 35eMeHTa K jiKCHjWJKMieму устройству осуществляется автоматически посредством привода возвратно-поступательного движения 2J .
Известное устройство не обеспечивает, возможности получения ТЭН высокого качества вследствие разброса шага резистивного элемента по всей дляйе.
Целью изобретения является повышение качества изготовления ТЭН.
Устройство .снабжено згшатчиком шага резистивного элемента, выполненного в виде связанной с дополнительным механизмом перемещения шестерни с центральным резьбовым отверстием, в которое входит связанный с ней резьбовым соединением фиксирующий элемент, выполненный в виде трубки с резьбой по всей наружной поверхности,а замок выполнен в виде разрезной шайбы.
На фиг. 1 представлено рписываёйоё устройство, общий вид в разрезе; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг7 зацепление паза в валу; на фиг. 3 замок, вид спереди; на фиг. 4 - то же, вид сверху.
-Устройство для изготовления ТЭН содержит: зажимы 1, удерживаявдие труоку 2 ТЭН в вертикальном положении ; узел перемещения фиксирукидего элемента 3, состоящий Из двигателя вращения 4, редуктора 5, тахометра 6 (указателя оборотов).ведущего шкива 7, приводного ремня 8, ведомого шкива 9; концевые выключатели 10, 11; вал управления 12 с упорами 13 и 14; воронку 15. На фиксирукяцем элементе 3 закреплен замок 16 для удержания в нем резистивного элемента 17. Кроме того, он выполняет функцию спиралеук-ладчика и выполнен в виде разрезной шайбы. Устройство .снабжено задатчиком 18 шага, установленным на втулке 19 с винтом 20. Задатчйк 18 шага выполнен в виде шестерни с внутренней резьбой и снабжен узлом переме чения, состоящим из двигателя 21, ре. дуктора 22, тахометра 23 и привода 24 задатчика шага. Устройство монтируется на виброустановке 25. Для крепления резистивного элемента 17 внизу используют вывод 26, который закрепляют в трубке 2 посредством резиновой прокладки 27.
бсш 12, изготовленный с долевым шпоночным пазом по всей длине, получая вращательное движение от двигателя 4 через редуктор 5, ведущий шкив 7, ремень 8 и ведоквой шкив 9, имеет возможность вращаться за счет зацепления паза в валу 12 и выступа в шкиве 9 (фиг. 2). этого, вал 12 имеет возможность свободйоГ У п дбЛЬного перемещения в шкиве 9 до угоров 13 и 14, опиракющхся на концевые выключатели 10 и 11. Вал 12 вставляют в зацепление с воронкой 15, вместе с которой имеет возможность вращаться фиксирующий элемент 3 с замком 16 фиг. 3-4), который жестко прикреплен к нижней части фиксирующего элемента 3. Фиксируг-хций элемент 3 по всей длине имеет наружную резьбу, через которую он соединей с задатчяком 18
шага, имекяцим ответную резьбу в центральном отверстии и опираявдимся 1ерез подшипник на втулку 1,9, в которую вставлена трубка 2 и закреплена винтом 20,
Устройство работает слёдукяцйм образом.
При изготовлении ТЭНа включгиот двигатель 4 на опускание фиксирующего элемента 3 до отключения упором 13 концевого выключателя 10, снимают с фиксирувдего элемента 3 замок 16, надевают на фиксирующий
элемент 3 резистивный спиральный элемент 17, устанавливают замок 16 на место, пропускают через него конец резистивного элемента 17 и закрепляют на выводе 26. Затем вставляют трубку 2 ТЭН во втулку 19 и закрепляют винтом 20, регулируют выход вывода 26, фиксируют его ре.эиновой прокладкой 27 на время засыпки наполнителя 28, предупреждая
его высыпание из трубки 2 ТЭН.
В воронку 15 засыпают требуемое количество наполнителя 28, включают виброустановку 25. За счет ви.брации наполнитель 28 из 1:олости
Б воронки через внутреннюю полость
фиксирующего элемента 3 поступает в полость В трубки 2 ТЭН и заполняет объем от резиновой прокладки 27 до замка 16. При включении двигателя укладку резистивного элемента 17 вращается вал 12 с фиксирующим элементом 3 и замксм 16. При этом фиксирующий элемент 3, выворачиваясь из. -адатчика 18 шага, передает вргицение замку 16, который
за каждый свой оборот пропускает через прорезь по одному витку спирали элемента 17 с шагом, равным шагу наружной резьбы фиксируйщего элемента 3. За счет освободившегося объема В нижней части трубки 2 ТЭН каждый у ложенный виток спирали элемента 17 заполняется и фиксируфтся наполнителем 28, поступаиощим по фиксирукяцему элементу 3. Выворач1гвание I фиксирующего элемента 3 будет происходить до отключения упором 14 концевого выключателя 11. Для укладки резистивного элемента 17 с шагом меньшим или большим шага резьбы, на фиксирующем элементе необходимо синхронно двигателю 4; вКлк)чить заранее отрегулированный на нужные обороты двигатель 21 в ту или иную сторону, который через редуктор 22 и привод 24 передает йращение на задатчик 18 шага. За этого фиксирующий элемент 3 начнет выворачиваться с новым заданным шагом и передаст свое вргвдение на замок 16, который и обусловит укладку
резистивного элемента 17 с заданным шагом.
Для укладки резистивного элемента 17 с дифференциальным (переменным} заданным шагом необходимо устанбвить заданную программу скоростей вращения двигателя 21, работающего CHHXpf HHu с двигателем 4.
Контроль за работой устЕюйства осуществляют по тахометрам (указателям оборотов) 6 и 23. После полной укладки резистивного элемента 17 замком 16, заполнения полости Б трубки 2 ТЭН наполнителем 28 осврбождают трубку 2 из зажимов 1 с уло-женным резистивным элементом 17 с
заданным iaaroM и монтируют второй
вывод 26. Процесс установки повторяется: берут новую незаполненную трубку ТЭН, закрепляют в зажимгис вставляют вывод, фиксируют его резиновой прокладкой и т.д. .
Применение предложенного устройства позволяет получить ТЭН, который имеет достаточно малый разброс температуры на поверхности нагреваемого объема.
Формула изобретения
Устройство для изготовления трубчатого электронагревателя, содержащее вертикально установленный и соединенный с приводом перемещения фиксирующий элемент, прикрепленный к нгжнему его концу замок для удержания спиргшьного резистивного элемента, отличающееся тем, что, с целью повышения качест-, ва изготовления электронагревателя, оно снабжено эадатчиком шага резнстивного элемента, выполненным в виде связанной с дополнительным механизмом перемещения шестерни с центргшьным резьбовым отверстием, в которое входит связанный с ней резьбовым соединением фиксирующий элемент, выполненный в виде трубки с резьбой по всей наружной поверхности, д замок выполнен в виде разрезной шайбы.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
5
1. Авторское свидетельство СССР 426332, кл. Н 05 В 3/52, 1972.
2, Авторское свидетельство СССР № 488370, кл. Н 05 В 3/52, 1973.
10
Фи1.2
fue.f
Фиг.З
