Токопроводящая паста Советский патент 1980 года по МПК H01B1/02 

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии получения материалов для пленочных проводников, применяемых в микроэлектронике и технике

свч.

Известны токопроводящие пасты для толстопленочных проводников и контактных площадок с различным содержанием компонентов 1. К ее погрешностям следует отнести большие потери в СВЧ диапазоне.

Наиболее близкой к изобретению по технической сущности является токопроводящая паста, содержащая серебро, палладий, стекло и орган11ческую связку - лавандовое масло и этилцеллюлоза 2.

За счет применения в качестве органической связки лавандового масла и этилцеллюлозы улучшаются ее реалогические (печатные) свойства, что позволяет увеличить плотность проводниковой разводки. Однако применение в составе пасты палладия, уменьшает проводимость пасты и увеличивает удельные потери в СВЧ диапазоне.

Целью изобретения является уменьшение удельного сопротивления и уменьшение удельных потерь в СВЧ диапазоне.

Достигается это тем, что известная токопроводящая паста, включающая серебро, стеклофритту, лавандовое масло и этилцеллюлозу, содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес %: Серебро55-80

Стеклофритта2-15

Лавандовое масло10-25

Этилцеллюлоза1-7

Ниже приведены примеры приготовления токопроводящей пасты предлагаемого состава с различным содержанием исходных компонентов и характеристики пленочных проводников, изготовленных из нее.

Пример 1. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 15 30-40 мин при следующем соотношении, вес. о/о:

Серебро55

Стекло15

Лавандовое масло23

Этилцеллюлоза7

Полученную пасту наносят через трафарет на диэлектрическую подложку и вжигают при 820°С в течение 10 мин. Удельное сопротивление проводников 0,084 Ом/п. а

удельные потери в СВЧ диапазоне 36- 40 дб/п.

Пример 2. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 30-40 мин, при следующем соотношении вес. %:

Серебро67,7

Стекло7,5

Лавандовое масло20,0

Этилцеллюлоза5,0.

Удельное сопротивление проводников 0,0032 Ом/а, а удельные потери в СВЧ диапазоне 9-12 дб/а.

Пример 3. Компоненты перемешивают и растирают на валковой пастотерке в течение 30-40 мин при следуюш,ем соотношении, вес. %:

Серебро80

Стекло4

Лавандовое масло14

Этилцеллюлоза2.

Удельное сопротивление проводников - 0,0026 Ом/а, а удельные потери в СВЧ диапазоне - 5-8 дб/ц.

Как видно из приведенных примеров, токопроводяш.ая паста, не содержащая В своем составе палладия, имеет значительно меньшие удельные сопротивления и удельные потери в СВЧ диапазоне, что делает ее наиболее предпочтительной для использования в микроэлектронике и для изготовления СВЧ микросхемы.

Применение токопроводяшей пасты с улучшенными реалогическими характеристиками, где в качестве проводящей фазы используют только серебро, позволяет значительно расширить частотный диапазон СВЧ толстопленочных микросхем.

Формула изобретения

Токопроводяшая паста, включающая серебро, стеклофритту, лавандовое масло и этилцеллюлозу, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения удельного сопротивления удельных потерь в СВЧ диапазоне, она содержит исходные компоненты в следующем соотношении, вес. %:

Серебро55-80

Стеклофритта2-15

Лавандовое масло10-25

Этилцеллюлоза1-7.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 423177, кл. Н 01 В 1/04, 1972.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 547839, кл. Н 01 В 1/00, 1977 (прототип).