Датчик на поверхностных акустических волнах Советский патент 1980 года по МПК H03H9/00 

1

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано как составная часть измерительных приборов для измерения давления, перемещения, деформации, теплового расширения тел путем преобразования изменения перечисленных параметров в соответствующее измене;ние времени запаздывания поверхност ных акустических волн, которое может Ъыть непосредственно измерено или преобразовано в свою очередь в частотный, фазовый или другой выходной сигнал.

Известно устройство с переменньм коэффициентом передачи сигнала к нагрузке, содержащее подложку с входным и выходным преобразователями акустических поверхностных волн. В устройстве предусмотрено средство для изгибания подложки, за счет чего изменяется фазовая скорость поверхностных волн и, следовательно, задержка выходного сигнала относительно входного 1 .

Недостатком известного устройства является малый рабочий диапазон измерений из-за ограниченного предела прочности материала подложки.

Известен датчик на поверхностных акустических волнах, содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ней пьезоэлектрическими преобразователями встречно-штыревого типа 2.

Недостатком известного датчика является невысокая точность и малый рабочий диапазон измерений.

10

Целью изобретения является повышение точности измерений и расширение рабочего диапазона.

Данная цель- достигается тем, что, в датчик на поверхностных акусти15 ческих волнах, содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ней пьезоэлектрическими преобразователями встречно- -штыревого типа, введена подвижная пластина, выполненная

20 из анизотропного материала и установленная над преобразователями парал- лельно плоскости их расположения.

На чертеже представлено устройство, вид сверху.

25

Датчик на поверхностных акустических волнах состоит из диэлектрической подложки 1 с нанесенными на нее встречно-штыревьми преобразователями 2,3,4,5 и подвижной пластины 30 6. Подвижная пластина 6 уста новле