Турбомолекулярный насос вертикального типа Советский патент 1980 года по МПК F04D19/04 

(54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПА

1

Настоящее изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов..

Известен турбомолекулярный насос, содержащий ротор с роторными дисками и корпус со статорными дисками 1.

Недостатком указанного насоса является сложность относительной центровки роторных и статорных дисков.

Наиболее близким решением из известных является турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски а.

Недостатком указанного насоса является небольи1ая производительность, обусловленная относительно большими зазорами между роторными и статорными дисками.

Целью настоящего изобретения является увеличение производительности турбомолекулярного насоса.

Указанная цель достигается тем, что насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок. Магнитные вставки встроены в основания статорных дисков, а роторные диски укреплены на валу с возможностью осевого перемещения.

Магнитные вставки размещены между

5 статорными дисками и примыкают к корпусу. Кроме того, они встроены в вал и примыкают к основаниям роторных дисков. На фиг. 1 изображен турбомолекулярный насос с магнитными вставками, встроенными в основания статорных дисков, продоль0 ный разрез; на фиг. 2 - турбомолекулярный насос с магнитными вставками, размещенными между статорными дисками, продольный разрез; на фиг. 3 - турбомолекулярный насос с магнитными вставками, встроенны., ми в вал, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос вертикального типа содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3, несущий роторные диски 4. Насос

20 снабжен магнитными вставками 5, а роторные диски 4 выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок 5. Вал 3 с роторными дисками 4 подвешен в магнитном подшипнике, состоящем из компенсаторов6 и 7 осевого и радиального усилий. Магнитные вставки 5 встроены в основания статорных дисков 2, а роторные диски 4 укреплены на валу 3 с возможностью осевого перемещения. Магнитные вставки 5размещены между статорными дисками 2 и примыкают к корпусу 1. Магнитные вставки 5 встроены в вал d и примыкают к основаниям роторных дисков 4. Турбомолекулярный насос вертикального типа работает следующим образом. Благодаря взаимодействию магнитных полей, магнитных вставок 5 и роторных дисков 4 и возможности осевого перемещения роторных дисков 4 относительно вала 3, роторные диски 4 автоматически устанавливаются на равных расстояних от статорных дисков 2. При соответствующей напряженности магнитного поля зазоры между роторными и статорнымйдисками 4 и 2 минийальны. : Наличие магнитных вставок и выполне ние роторных дисков из магнитног о мате рМла, йайагйичённшс полярностью, противоположной полярности вставок, и укреп ленных на валу с возможностью осевого перемещения, упрощает сборку насоса и позволяет получить минимальные зазоры между роторными и статорными дисками и тем самым повысить производительность насоса.

737659 Формула изобретения 1 Турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски, отличающийся тем, что, с целью увеличения производительности, насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок. 2: Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки встроены в основания статорных дисков, а poToj Hbie диски укреплены на балу с возможностью осевого перемещения. 3.Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки размещены между статорными дисками и примыкают к корпусу. 4.Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки встроены в вал и примыкают к основаниям роторных дисков. Источник информации, принятые во внимание при экспертизе 1 Патент Франции № 1594593, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1970. 2. Патент Франции № 2246756, кл. F04 D 19/04, опублик. 1975.