, Изобретение относится к техничес кой физике и может быть использовано для определения контраста оптических изображений. Известно фотоэлектрическое устройство для регистрации границы полосы, содержащее диафрагму с двумя щелями разной ширины, ззаимосмещенными по высоте, и фотоприемник tlj. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является им терференционное устройство для опре деления границ полос, содер сащее щелевую диафрагму, двухлучевой интерферометр и фотоприемник 1.21 . Недостатком данного устройства является низкая точность определени границ полос. Цель изобретения - повышение Тйч ности определения границ полос. Указанная цель достигается тем, что в одно из плеч интерферометра введена оборачивающая телескопическая система. На фиг. 1 приведена оптическая схема устройства; на фиг. 2 - диаграммы световых потоков зависимости .положения сканирующей полосы. Устройство работает следующим образом. При сканировании изображения полос щелевой диаграммой 1 в направлении оси X происходят последовательные засветки или затемнения щели, приводящие к линейным нарастаниям или спадам величин световых потоков со и Фг, которые формируются с помощью полупрозрачного 2 и отклоняющего 3 зеркал интерферометра 4. При прохождении светового пучка оборачивающей телескопической системы 5, установленной в одном из плеч интерферометра, направление движения изображения в последнем меняется на противоположное, в результате чего на полупрозрачном зеркале 6 наблюдается встречное движение изображений одной и той же полосы (cfi, увеличивается от X , до xj и Ш увеличивается от Xj до х.,)(фиг.2). При постепенной засветке щели до встречи -изображений на зеркале б результирующий световой поток ctDpejt поступающий на фотоприемник 7, равен сумме световых потоков ДО, и «DI и увеличивается по линейному закону. Б момент встречи изображений в точке KQ фотоприемник регистрирует ма ссимальный световой поток. Прн лалькайшей засветке щели происходит совмещение изображений на зеркале б и, в случае противофазной настройки интерферометра, их величйна в области перекрывается к линейному уменьйзеаию ф pg . Полное перекрытие изображений, соответствующее полной засветке выходной щели, приводит к исчезяовеяшо сигнала на входе фотоприемника. образом, световые сигналы на входе фотоприемнкка имеют форму треугольника, вершина которых (точка XQ на фиг.2) соответствует прохождению границами полосы осевой линии входной щелк. Paз ытocть изображения границ опти ческог.о контроля не влияет на остроту вер1йиг{ы треугольного светового сигнала з так как в данном случае интерферируют между собой лучи от одних и тех же точек щелевой диафрагмы, что позволяет существенно. повысить точность измерения. Формула изобретения Интерференционное устройство для определения границ полос, содержащее щелевую диафрагму, двухлучевой интерферометр и фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности определения границ полос, в одно из плеч интерферометра введена оборачивакяцая телескопическая система. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 385207, кл. G 01 N 21/00, 1970. 2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 252384/18-25, 1978.
J
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для определения границ интерференционных полос | 1981 |
|
SU1017980A1 |
Установка для контроля размеров элементов фотошаблонов | 1981 |
|
SU968605A1 |
Прибор для определения размеров частиц | 1990 |
|
SU1800318A1 |
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА | 1993 |
|
RU2095752C1 |
Устройство для определения границ полосы | 1977 |
|
SU708145A1 |
Устройство для определения положения границ объекта | 1990 |
|
SU1703968A1 |
Устройство для определения границ полосы | 1985 |
|
SU1262277A2 |
Способ определения положения границ объекта | 1988 |
|
SU1573345A1 |
Устройство для измерения размеров элементов микроструктур | 1983 |
|
SU1128118A1 |
Устройство для измерения линейных перемещений | 1985 |
|
SU1315799A1 |
Авторы
Даты
1981-02-23—Публикация
1978-11-15—Подача