Интерференционное устройство дляОпРЕдЕлЕНия гРАНиц пОлОС Советский патент 1981 года по МПК G01N21/45 

Описание патента на изобретение SU807165A1

, Изобретение относится к техничес кой физике и может быть использовано для определения контраста оптических изображений. Известно фотоэлектрическое устройство для регистрации границы полосы, содержащее диафрагму с двумя щелями разной ширины, ззаимосмещенными по высоте, и фотоприемник tlj. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является им терференционное устройство для опре деления границ полос, содер сащее щелевую диафрагму, двухлучевой интерферометр и фотоприемник 1.21 . Недостатком данного устройства является низкая точность определени границ полос. Цель изобретения - повышение Тйч ности определения границ полос. Указанная цель достигается тем, что в одно из плеч интерферометра введена оборачивающая телескопическая система. На фиг. 1 приведена оптическая схема устройства; на фиг. 2 - диаграммы световых потоков зависимости .положения сканирующей полосы. Устройство работает следующим образом. При сканировании изображения полос щелевой диаграммой 1 в направлении оси X происходят последовательные засветки или затемнения щели, приводящие к линейным нарастаниям или спадам величин световых потоков со и Фг, которые формируются с помощью полупрозрачного 2 и отклоняющего 3 зеркал интерферометра 4. При прохождении светового пучка оборачивающей телескопической системы 5, установленной в одном из плеч интерферометра, направление движения изображения в последнем меняется на противоположное, в результате чего на полупрозрачном зеркале 6 наблюдается встречное движение изображений одной и той же полосы (cfi, увеличивается от X , до xj и Ш увеличивается от Xj до х.,)(фиг.2). При постепенной засветке щели до встречи -изображений на зеркале б результирующий световой поток ctDpejt поступающий на фотоприемник 7, равен сумме световых потоков ДО, и «DI и увеличивается по линейному закону. Б момент встречи изображений в точке KQ фотоприемник регистрирует ма ссимальный световой поток. Прн лалькайшей засветке щели происходит совмещение изображений на зеркале б и, в случае противофазной настройки интерферометра, их величйна в области перекрывается к линейному уменьйзеаию ф pg . Полное перекрытие изображений, соответствующее полной засветке выходной щели, приводит к исчезяовеяшо сигнала на входе фотоприемника. образом, световые сигналы на входе фотоприемнкка имеют форму треугольника, вершина которых (точка XQ на фиг.2) соответствует прохождению границами полосы осевой линии входной щелк. Paз ытocть изображения границ опти ческог.о контроля не влияет на остроту вер1йиг{ы треугольного светового сигнала з так как в данном случае интерферируют между собой лучи от одних и тех же точек щелевой диафрагмы, что позволяет существенно. повысить точность измерения. Формула изобретения Интерференционное устройство для определения границ полос, содержащее щелевую диафрагму, двухлучевой интерферометр и фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности определения границ полос, в одно из плеч интерферометра введена оборачивакяцая телескопическая система. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 385207, кл. G 01 N 21/00, 1970. 2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 252384/18-25, 1978.

J

Похожие патенты SU807165A1

название год авторы номер документа
Устройство для определения границ интерференционных полос 1981
  • Чехович Евгений Казимирович
  • Буров Юрий Георгиевич
SU1017980A1
Установка для контроля размеров элементов фотошаблонов 1981
  • Чехович Евгений Казимирович
SU968605A1
Прибор для определения размеров частиц 1990
  • Чехович Евгений Казимирович
  • Лакоза Игорь Михайлович
  • Дударчик Анатолий Иванович
  • Ляшевич Анатолий Сергеевич
SU1800318A1
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА 1993
  • Солоухина Е.Н.
  • Марков И.А.
  • Солоухин Н.Д.
RU2095752C1
Устройство для определения границ полосы 1977
  • Биенко Юрий Николаевич
  • Чехович Евгений Казимирович
  • Толкун Дмитрий Викторович
  • Буров Юрий Георгиевич
SU708145A1
Устройство для определения положения границ объекта 1990
  • Буров Юрий Георгиевич
SU1703968A1
Устройство для определения границ полосы 1985
  • Чехович Евгений Казимирович
SU1262277A2
Способ определения положения границ объекта 1988
  • Чехович Евгений Казимирович
  • Буров Юрий Георгиевич
SU1573345A1
Устройство для измерения размеров элементов микроструктур 1983
  • Чехович Евгений Казимирович
  • Буров Юрий Георгиевич
SU1128118A1
Устройство для измерения линейных перемещений 1985
  • Волков Владимир Михайлович
  • Горбань Александр Михайлович
  • Резунков Валентин Константинович
  • Скирда Анатолий Сергеевич
  • Суббота-Мельник Петр Александрович
  • Ткач Борис Григорьевич
SU1315799A1

Иллюстрации к изобретению SU 807 165 A1

Реферат патента 1981 года Интерференционное устройство дляОпРЕдЕлЕНия гРАНиц пОлОС

Формула изобретения SU 807 165 A1

SU 807 165 A1

Авторы

Биенко Юрий Николаевич

Чехович Евгений Казимирович

Буров Юрий Георгиевич

Толкун Дмитрий Викторович

Даты

1981-02-23Публикация

1978-11-15Подача