13
ческой системы 2 и светоделителя 5 направляют на кoriтpoлиpye fyю поверхность объекта 16, установленную на опорной площадке 7 столика 6, которая имеет возможность перемещения в плоскости, перпендикулярной оптической оси интерферометра, с помоп;ью механизма 8 перемещения. Излучение,отраженное от контролируемой поверхности, направляют оптической проекционной системой 9 в двухлучевой интерферометр 13, пройдя который, оно проект- тируется в оптически сопряженную с опорной площадкой плоскость регист1
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в оптическом приборостроении для определения кривизны поверхности оптических деталей.
Цель изобретения - измерение также радиуса кривизны контролируемой оптической поверхности за счет бокового сдвига пучков в интерферометре
На чертеже приведена схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит источник 1 излучения, например лазер, телескопическую систему 2, включающую два компонента 3 и 4, первый светоделитель 5, столик 6 с опорной площадкой 7 и механизмом 8 перемещения ее, проекционную оптическую систему 9, второй светоделитель 10, два уголковых отражателя 11 и 12, которые совместно с вторым светоделителем 10 образуют интерферометр 13, щелевую диафрагму 14, фотоприемник 15 и электронный блок обработки (не показан).
Устройство работает следующим образом.
Предварительно осуществляют настройку и калибровку устройства.
Устанавливают на опорную площадку 7 столика 6 объект 16 с контролируемой поверхностью.
Направляют излучение источника 1, например лазера, через телескопическую систему 2 и светоделитель 5 на контролируемый объект 16. Отраженное кoнтpoJшpyeмoй поверхностью объекта
799
рации, в которой установлена щелевая диафрагма 14. В двухлучевом интерферометре осуществляют боковой сдвиг разделенных пучков на величину d. При перемещении объекта в плоскости, перпендикулярной оптической оси интерферометра, на величину д регистрируют движение интерференционных полос в плоскости регистрации. Регистрацию осуществляют с помощью фотоприемника 13 и блока обработки. По количеству зарегистрированных полос, прошед111их щелевую диафрагму 14, вычисляют радиус поверхности. 1 ил.
16 излучение перехватывают проекционной оптической системой 9 и направляют в интерферометр 13, где излучение делят вторым светоделителем 10 попо- лам, смещают разделенные пучки один относительно другого и световозвра- щают их уголковыми отражателями 11 и 12.
Оптическая проекционная система 9 осуществляет оптическую связь опорной площадки 7 с плоскостью изображения, в которой размещена диафрагма 14, Излучение, прощедшее интерферометр 13, формирует на щелевой диафрагме 14 два световых пятна, смещенных один относительно другого вдоль прямой, перпендикулярной щели диафрагмы, смещение между которыми равно
I d-p ,
где d - величина бокового сдвига в интерферометре между свето- возвращенными пучками; Р - линейное увеличение оптической сопрягающей системы.
В поле переналажения световых пучков наблюдают интерференционные полосы, ориентированные перпендикулярно направлению бокового сдвига пучков в интерферометре.
Перемещают опорную площадку 7 с контролируемой поверхностью (объект 16) перпендикулярно оптической оси интерферометра на величину д, отраженный пучок претерпевает в данном случае поворот на угол ip , равный
fi - Lf .
313
2A/R, где R - радиус кривизны контролируемой поверхности, при этом световые пучки в плоскости регистрации поворачиваются на угол
.fa 1 Ч а приводя к изменению разj9hI
нести оптических путей $ этих пучков в плоскости регистрапии на величину
2du г - -р- .
Изменение разности оптических путей между пучками в плоскости регистрации на щели диафрагмы приводит к перемещению интерференционной картины. Наблюдая интерференционную картину, определяют количество N интерференционных полос, прошедрщх через щель диафрагмы.
По количеству интерференционных полос вычисляют радиус кривизны R контролируемой поверхности по зависимости
R
где - длина волны источника излучения;
Д - величина перемещения опорной площадки с контролируемой поверхностью в плоскости, перпендикулярной оптической оси.
Формула изобретения
Устройство для измерения линейных перемещений, содержащее последовательно установленные источник излучения, телескопическую систему, выполненную из двух компонентов, и светоРедактор Л. Козориз Заказ 2344/42
Составитель Н. Солоухин Техред М.Ходанич
Тираж 677 ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4
94
делитель и устанавливаемые в обратном ходе излучения от объекта интерферометр, выполненный в виде светоделителя и двух уголковых отражателей, каждый из которых установлен в потоке излучения от соответствующего свето- депителя, диафрагму, фотоприемник и электронный блок обработки, отличающее ся тем, что, с целью
измерения также радиуса кривизны поверхности контролируемого объекта, оно снабжено проекционно-оптической системой, расположенной между светоделителем и интерферометром, столиком, опорная площадка которого предназначена для размещения на ней контролируемой поверхности объекта, и механизмом перемещения опорной площадки в направлении, перпендикулярном
оптической оси интерферометра, диафрагма вьтолнена в виде щели, установлена в плоскости регистрации изображения и ориентирована так, что щель перпендикулярна главному сечению
интерферометра, столик ориентирован так, что его опорная площадка перпендикулярна оптической оси интерферометра и расположена в плоскости, оптически сопряженной с плоскостью регистрации изображения, один из компонентов телескопической системы ус- тановлен с возможностью перемещения вдоль направления излучения, а один из уголковых отражателей интерферометра смещен по отношению к другому в плоскости, перпендикулярной щели диафрагмы.
Корректор Г. Решетник Подписное
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Установка для контроля размеров элементов фотошаблонов | 1981 |
|
SU968605A1 |
Интерферометр для измерения перемещений | 1980 |
|
SU934212A1 |
СПОСОБ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ | 2013 |
|
RU2536764C1 |
Дифракционный интерферометр | 1990 |
|
SU1762116A1 |
Интерферометр для измерения перемещений объектов | 1986 |
|
SU1416860A1 |
Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре | 1986 |
|
SU1399644A1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1997 |
|
RU2146354C1 |
ДИФРАКЦИОННЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР (ВАРИАНТЫ) | 2003 |
|
RU2240503C1 |
Прибор для определения размеров частиц | 1990 |
|
SU1800318A1 |
Интерференционное устройство для измерения малых перемещений | 1987 |
|
SU1441190A1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в оптическом приборостроении дпя огфеделения кривизны поверхности оптических деталей. Целью изобретения является измерение устройством также радиуса кривизны оптических поверхностей. Излучение источника 1, например лазера, с помощью телескопи00 ел VI со со
Оптические приборы: Каталог.М.: Дом оптики, т | |||
I, с | |||
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1987-06-07—Публикация
1985-03-06—Подача