Способ испытания на герметичность Советский патент 1981 года по МПК G01M3/02 

1

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способу испытания на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью массспектр9метрического течеискателя.

Известен способ испьсгания изделий на герметичность, по форому изделие псжещают в вакуумную кгшеру, вакуумируют ее, заполняют изделие пробным газом и определяют утечку газа из изделия с помощью масс-спектрометрического течеискателя 111.

Недостатком данного способа является недостаточная точность результатов испытания крупногабаритных изделий ввиду значительного газоотделения с внутренних стенок вакуумной камеры и наружных поверхностей испытываемого изделия.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в испытательную камеру/ вакуумируют ее до заданной степени разрежения, поддерживая эту.степень разрежения, подают в камеру газ-носитель и заполняют изделие пробным газом, а о герметичности изделия судят по содержа- . нию пробного газа в испытательной камере . 2 .

Недостатком известного способа является небольшая чувствительность, вызванная тем, чтотехнический газноситель содержит заметное количество неадсорбирующихся при температуре зкидкого азота газообразных примесей.

Цель изобретения - повышение чувствительности способа рспытания изделия на герметичность.

Для достижения указанной цели в качестве газа-носителя используют пары воды и одновременно с подачей в испытательную камеру паров веды на выход вакуумного насоса подают углекислый газ.

На чертеже представлена схема реашизации предлагаемого способа.

Схема включает испытательную камеру 1 со штуцером 2 подвода паров воды, штуцером 3 подвода пробного газа в испытуемое изделие 4 и штуцером 5 подключения контрольной течи 6. К испытательной камере 1 последователь но подсоединены высоковакуумный насое 7 и через магистраль 8 предварительного разрежения - форвакуумный насос 9 и течеискатель 10, включаю щий азотную ловушку 11, масс-спектрр метричвскую камеру 12, вентиль 13, соединяющий магистраль 8 предварител ного раэреж ення с азотной ловушкой 11. Форвакуумный насос 9 имеет газобалластное устройство 14 с вентилем 15 для подачи углекислого газа на выход насоса 9. Способ осуществляют следующим образом. Испытуемое изделие 4 помещают в испытательную камеру 1. Затем производят ступенчатое вакуумирование каMepiH 1 насосами 7 и 9. При достижении заданного давления в камере 14 например, 1-10 мм, рт. с. Р 210 ммрт.ст. поддерживая эту степень разрежения, подают в камеру 1 пары в ды, а через вентиль 15 в газобапласт ное устройство 14 на выход форвакуум ного насоса 9 углекислый газ. Давление углекислого газа на входе в газобалластное устройство 14 поддержиВ Ш)Т в пределах, обеспечивающих нормальную работу форвакуумного насоса 9, исключающего конденсацию паров во ды в рабочей камере насоса 9 и обеспечивающего надежную згициту вакуумно системы, камеры 1 от атмосферы. После продувки испытательной камеры 1 пара ми воды в течение 30 мин, фон пробного газа в камеЕ е 1 стабилизируется и определяется динамическая чувствительность системы испытания, для чег в камеру 1 подается поток пробного газа от контрольной течи 6. Затем изделие 4 заполняют пробным газом и после выдержки в течение 30 мин для перемешивания пробного га за с воздухом внутри изделия 4 произ водят оценку герметичности испытуемого изделия 4, по содержанию пробного газа в испытательной камере 1, путем сравнения потока пробного газа из изделия с потоком пробного газа от контрольной течи. Увеличение чувствительности испытания достигается за счет значительного снижения содержания остаточного газа в испытательной камере 1 и в магистрали 8 предварительного разрежения, позволяющего при наличии в вакуумной системе паров воды более эффективно перераспределить поток пробного газа между течеискателем 10 и форзэакуумным насосом 9 в сторону насоса 9 благодаря более интенсивному адсорбированию паров воды на азотной ловушке 11 течеискателя 10, а . также за счет практически полного исключения проникновения атмосферт ного воздуха, в частности содержащегося в нем пробного.газа - гелия,в вакуумную систему камеры 1 через выход форвакуумного насоса 9, благодаря подаче углекислого газа в газобалластное устройство 14, что позволяет значительно снизить фон гелия в магистрали 8 предварительного разрежения, а также содержание неадсорбирующего остаточного газа. Формула изобретения Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в испытательную камеру, вакуумируют ее до заданной степени разрежения, подают в камеру газноситель и заполняют изделие прюбным газом, а о герметичности изделия судят по содержанию пробного газа в испытательной камере, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности способа,-в качестве газа-носителя используют пары воды и одновременно с подачей в испытательную камеру паров воды на выход вакуумного насоса подают углекислый газ. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Ланис В.А., Левина Л.Е. Техника вакуу1 ных испытаний. М., Госэнергоиздат, 1963, с. 226. 2.Авторское свидетельство СССР 492771, кл. Q 01 М 3/02, 12.04.74 (прототип)