Способ контроля совмещаемости фотошаблона Советский патент 1981 года по МПК H01L21/00 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ СОВМЕЩАЕМОСТИ ФОТОШАБЛОНОВ

1

Изобретение относится к микроэлектронике, преимущественно к производству интегральных микросхем, и может быть использовано при контроле совмещаемости комплекта фотошаблонов гибридных интегральных схем, больших гибридных интегральных схем, полупроводниковых интегральных схем, а также фотошаблонов печатных плат.

Известен способ контроля совмеш,аемости фотошаблонов методом контрольной фотолитографии на полупроводниковых пластинах 1. Сущность его заключается в следующем: на полупроводниковую пластину делают произвольную пропечатку 1-го фотошаблона из .комплекта. Затем на установке совмещения делают пропечатку второго фотошаблона,. совмещая его с первым. Таким образом, для комплекта из N фотошаблонов избирается N-1 полупроводниковых пластин со следами двойных совмещ,енных пропечаток. По отклонениям размеров зазоров между совмещаемыми элемента 1и судят с точности совмещения каждой пары фотошаблонов в технологической последовательности, т.е. первый с вторым, второй

С третьим и т.д. Такой способ является дорогим и трудоемким.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ контроля совмещаемости фотошаблонов, включающий последовательное проецирование изображений фотошаблонов на экран, ориентирование этих изображений относительно базовых меток на экране, совмещение изображений фотошаблонов между собой и оценку довмещаемости фотошаблонов 2.

Цель изобретения - снижение трудоемкости контроля комплекта фотошаблонов. , Достигается это благодаря тому, что в способе контроля совмещаемости фотошаблонов, включающем последовательное проецирование изображений фотошаблонов на экран, ориентирование этих изображений относительно базовых меток на экране, совмещение изображений фотошаблонов между собой и оценку совмещаемости фотошаблонов, проецирование изображений всех фотошаблонов на экран производят через один и тот же оптический канал, а совмещение изображений фотошаблонов между собой производят путем последовательного перемещения их относительно оси оптического канала с частотой стробоскопирования.

На чертеже схематично представлено устройство для реализации предлагаемого способа контроля совмещаемости изображений фотошаблонов.

Устройство состоит из диска 1 с закрепленными на нем фотошаблонами 2, экрана 3, оптического канала, Состоящего из импульсного осветителя 4, коллиматора 5, объектива 6, системы синхронизации, состоящей из осветителя 4, датчика 7, фотоэлектрического датчика 8 и блока синхронизации 9.

Пример. На диске 1 закрепляют любое количество фотошаблонов 2, предварительно совместив их по реперным знакам 10, с базовыми метками 11 на экране 3. Затем диск 1 приводят во вращательное движение. В момент введения фотошаблона 2 в оптический канал (4, 5, 6) при совпадении реперных знаков 10 фотощаблона 2 с базовыми метками на экране 3 синхронизированно, посредством системы синхронизации, включают импульсную лампу 4, которая проецирует через объектив 6 изображение фотощаблона 2 на экран 3. Аналогично вводятся и проекцируются изображения остальных фотошаблонов, причем частота прохождения фотошаблонов через оптический канал составляет не менее 10 Гц.

Благодаря некоторой длительности зрительного впечатления, каждое последующее изображение будет накладываться на предыдущее (стробоскопический эффект), и на экране 3 будет видно совмещенное изображение 12 всего комплекта фотощаблонов. На экране визуально или с помощью специальных устройств, управляемых от ЭВМ, проводят оценку совмещаемости комплекта фотошаблонов.

Использование предлагаемого способа контроля совмещаемости изображений фотошаблонов, благодаря введению в один оптический канал любого количества фотощаблонов с частотой не менее 10 Гц, по сравнению с существующими способами снижает трудоемкость контроля совмещаемости. фотощаблонов; повыщает точность контроля и позволяет контролировать одновременно любое количество фотощаблонов или заданное число слоев, что значительно повышает качество и сокращает сроки изготовления прецизионных фотощаблонов для производства ИС.

Формула изобретения

Способ контроля совмещаемости фотошаблонов на экран, ориентирование этих изображений относительно базо вых меток на экране, совмещение изображений фотощаблонов между собой и оценку совмещаемости фотошаблонов, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости контроля комплекта фотощаблонов, проецирование изображений всех фотощаблонов на экран производят через один и тот же оптический канал, а совмещение изображений фотощаблонов между собой проводят путем последовательного перемещения их относительно оптического канала с частотой стробоскопирования.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

с. 107, 1977 (прототип).