Способ изготовления низко-ТЕМпЕРАТуРНОгО TEPMOMETPA СОпРОТиВ-лЕНия Советский патент 1981 года по МПК G01K7/22 

1

Изобретение относится к способам изготовления германиевых термометров сопротивления для измерения низких температур преимущественно в условиях больших механических нагрузок и в сильных магнитных полях.

Известен способ изготовления низкотемпературного термометра сопротивления, заключаквдийся в обработке кристалла германия путем легирования примесями и подпайке к нему контактов 1 .

Недостаткдм этого способа является сложность технологии, так как операция легирования из-за неоднородности распределения примеси приводит к различным показаниям термометров, что затрудняет получение термометров с заданными свойствами. Кроме того, термометры сопротивления, полученные указанным способом, характеризуются узким интервалом измеряемых температур, а также низкими вибро- и термостойкостью.

Цель изобретения - упрощение технологии изготовления термометра, расширение интервала измеряемых температур и повышение вибро- и термостойкости.

Для этого германиевый кристалл пластически деформируют сжатием до степени 20-45% при 700-800С, охлаждают до комнатной температуры и вырезанный в виде бруска или пластины термочувствительный элемент химически полируют.

Пример. Монокристалл германия с концентрацией акцепторов 1-10 см пластически деформируют сжатием при в вакууме рт.ст. до степени деформации 45%. После охлаждения образца до комнатной температуры из него вырезают бруски размером 310,5 :им. Полученные таким образом термочувствительные элементы химически полируют и к их торцам индием припаивают про волочные контакты. Сопротивление полученных термометров в интервале температур 150-1,3 К монотонно возрастает.

При степенях деформации, лежащих вне указанного инте:рвала (20-45%) и

при температурах ниже-ЛОО С не удается получить термочувствительный материал для измерений при низких температурах.

Низкотемпературные германиевые

-термометры сопротивления, полученные 3 8219 предлагаемым способом, обладают высокой механической прочностью и термической стойкостью, а также слабой чувствительностью к магнитному полю. 4,2 К показания термометров изменяются лишь на 10% при увеличении. напряженности магнитного поля от 0 до 70 кЭ. Формула изобретения Способ изготовления низкотемпературного термометра сопротивления,.« згислючающийся в обработке кристалла германия , подпайке к нему контактов, отличающийся тем, что, с 54 целью упрощения технологии иэготовления термометра, расширения интервала измеряемых температур, повышения вибро- и термостойкости/ германиевый кристалл пластически деформируют сжатием до степени 20--45% при 700800®С, охлаждают до комнатной температуры и вырезанный в виде бруска или пластины термочувствительный элемент химически полируют. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР №247554, кл. G 01 К 7/22, 1968.