(54) МОЛЕКУЛЯРНБ1Й ВАКУУМНЫЙ НАСОС
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ | 2012 |
|
RU2490519C1 |
ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
Вакуумный молекулярный насос | 1991 |
|
SU1810604A1 |
ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ГИБРИДНЫЙ НАСОС | 2012 |
|
RU2561514C2 |
ВАКУУМНЫЙ ГАЗОРОТАЦИОННЫЙ НАСОС | 2003 |
|
RU2237824C1 |
Компрессор низкого давления газотурбинного двигателя авиационного типа (варианты) | 2016 |
|
RU2614709C1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU312965A1 |
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1965 |
|
SU174314A1 |
РОТОРНО-ВИХРЕВАЯ МАШИНА С КЕРАМИЧЕСКИМИ РАБОЧИМИ ЭЛЕМЕНТАМИ | 2007 |
|
RU2338884C1 |
1
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов.
Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми рядами роторных лопаток, расположенных с радиальным зазором относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки лопаток расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 1.
Недостатками известных насосов являются невысокая надежность, значительный обратный поток газа и малая быстроходность.
Цель изобретения - повышение надежности, уменьшение обратного потока газа, оптимизация параметров насоса и повыщение быстроходности.
Поставленная цель достигается тем, что боковая кромка статорных и роторных лопаток расположена под углом к об разующей ротора, зазор между корпусом
И ротором выполнен постоянным, зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимся в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором. На фиг. 1 изображен молекулярный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - вариант исполнения насоса с полым ротором; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2.
Молекулярный вакуумный насос содержит конический корпус 1 с расположеннь ми на его внутренней поверхности кольцевыми рядами статорных лопаток 2 и установленный по оси корпуса 1 с зазором относительно последнего конический ротор 3 с кольцевыми 5 рядами роторных лопаток 4, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковых и торцовая кромки 5 и 6 каждой лопатки расположены соответственно перпендикулярно и параллельно образующей ротора 3, а другая бо0ковая кромка 7 статорных и роторных лопаток 2 и 4 расположена под углом к образующей ротора 3. Кроме того, зазор между корпусом 1 и ротором 3 выполнен постоянным или уменьшающимся .в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, и ротор 3 выполнен полым и его полость 8 сообщена с зазором между корпусом 1 и ротором 3.
Насос работает следующим образом.
Молекулы газа из откачиваемого объема, соударяясь с лопатками 4 вращающегося ротора 3, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в форвакуумную полость насоса, откуда удаляются форвакуумным насосом.
Выполнение корпуса и ротора коническими с кольцевыми рядами лопаток, у которых одна из боковых кромок перпендикулярна образующей ротора, а другая расположена под углом к последней, позволяет повысить надежность работы насоса, а также значительно упростить его сборку.
Формула изобретения
зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимся в направлении откачки и имеет минимальную величину, превыщающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров.
Источники- информации, 5принятые во внимание при экспертизе
Авторы
Даты
1981-04-23—Публикация
1972-12-25—Подача