МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС Советский патент 1965 года по МПК F04D19/04 

Известны молекулярные вакуумные насосы, в корпусе которых размещен ротор, выполненный в виде дисков с прорезями или лопатками, установленными перпендикулярно оси вращения ротора.

Предлагается насос, в корпусе которого неподвижные лопатки установлены по концентрическим окружностям параллельно оси вращения ротора, а между ними помещены ряды рабочих лопаток, укрепленных на диске ротора. Чтобы уплотнить зазор между диском ротора и корпусом, в последнем сделаны спиральной формы каналы, идущие от центра к периферии. Для откачки двумя радиальными потоками неподвижные и рабочие лопатки выполнены двухъярусными.

Подобная конструкция насоса позволяет создать радиальный поток откачиваемого газа, что увеличивает быстроту откачки.

В насосе могут быть использованы также два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос в продольном и по А-А разрезах, с направлением движения откачиваемого газа от периферии к центру; на фиг. 2 - то же, с направлением движения откачиваемого газа от центра к периферии; на фиг. 3 - то же, с двухъярусным выполнением неподвижных и- рабочих лопаток; на фиг. 4 - то же, с двумя вращающимися роторами.

В корпусе / насоса по концентрическим окРУЖ.НОСТЯМ параллельно оси 2 вращения ротора установлены неподвижные лопатки 5, между которыми помещены ряды укрепленных на диске 4 ротора рабочих лопаток 5. При этом могут быть использованы лопатки трехгранного, трапецеидального, ромбического и

др. профилей. Их располагают в ряд между двумя окружностями под углом а к плоскости, касательной к наружной окружности. В результате такой расстановки лопаток пазы между ними расщиряются от центра к периферии, что позволяет увеличить быстроту откачки по сравнению с известной расстановкой, когда пазы одинаковы но всей щирине лопатки. Рабочие лопатки одной стороной крепятся на диске ротора, а другой - к бандажным

кольцам 6.

Газ из объема откачивают через патрубок 7 и нагнетают через патрубок 8 к форвакуумному насосу. Па фиг. 1, 3, 4 поток откачиваемого газа направлен от периферии к центру и, следовательно, разъем 9 корпуса насоса находится в области высокого вакуума. В насосе на фиг. 2 поток газа направлен от центра к периферии, и поэтому разъем 9 находится

имуществом по сравнению с насосом, изображенным на фиг. 1.

Полость высокого вакуума от низкого в зазоре между диском ротора и корнусом отделяют с помощью сниральных каналов 10, направленных от центра к периферии. Каналы вместе с вращающейся нижней плоскостью диска образуют обычный молекулярный насос, используемый в данном случае в качестве уплотнителя.

Для откачки газа двумя радиальными потоками (фиг. 3) неподвижные и рабочие лолатки выполнены двухъярусными. С целью улучщения условий работы высота таких лопаток может быть уменьшена к периферии.

Предлагаемый насос можно также выполнить с двумя (фиг. 4) или несколькими роторами, вращающимися навстречу друг другу, что увеличит эффективность откачки. При этом направление откачки центральной и периферийных частей совпадет.

Предмет изобретения

1. Молекулярный вакуумный насос с размещенным в его корпусе ротором, отличающийся тем, что, с целью создания радиального потока откачиваемого газа для увеличения быстроты откачки, в корпусе параллельно оси вращения ротора по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки, между которыми помещены ряды укрепленных на диске ротора рабочих лопаток.

2. Насос но п. 1, отличающийся тем, что, с целью уплотнения зазора между диском ротора и корпусом, в последнем предусмотрены спиральной формы каналы, направленные от

центра к периферии.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью откачки двумя радиальными потоками, неподвижные и рабочие лопатки выполнены

двухъярусными.

4. Пасос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью увеличения эффективности откачки, в 25 нем предусмотрены два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу.

9 7