Способ бесконтактного контроля попе-РЕчНыХ РАзМЕРОВ МиКРООб'ЕКТОВ Советский патент 1981 года по МПК G01B9/00 

(54) СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ ПОПЕРЕЧНЫХ РАЗМЕРОВ МИКРООБЪЕКТОВ Устройство содержит квантовый генератор. 1/ расширитель 2 когерентного световогопучка, позитивный слайд 3 с анализируемым изображением, кассету 4, двигатель 5 вращения кассеты 4, объектив б, узкополосный фильтр-диафрагму 7, фотодиод 8, микрометрическую головку 9, инерционный гальванометр 10. Способ реализуется следующим образом. . Оптический квантовой генератор 1 с помощью расширителя 2 когерентного светового пучка освещает позитивный слайд 3 с анализируемым изображением Слайд 3 крепится к кассете 4, вращаемой с помощью двигателя 5 в плоскости, перпендикулярной оптической оси системы с центром вращения, находящимся на этой оси. Объектив б формирует в плоскости узкополосного фильтра-диафрагмы 7 спектр пространственных частот исследуемого изображения. За диафрагмой 7 расположен фотодиод 8, перемещаемой вместе с ди афрагмой 7 вдоль прямой,, проходящей через центр спектрального распределения, в плоскости, перпендикулярной оптической оси системы. Микрометрическая головка 9 фиксирует величину сдвига диафрагмы 7, т.е. пространственную частоту исследуемого.изобр жения. Инерционный гальванометр 10 измеряет величину фототока, пропорциональную усредненной величине спе ра мощности на фиксируемой простран ственной частоте. По этой величине оценивают когерентную и некогерентн составляющие усредненного спектраль ного распределения и по их величине судят о количестве микрообъектов со ответствующего размера t 3lwU - 3iUn, нЫ OlWn, ГГЧ- где Пц (г) , nj(r) - число микрообъектов радиуса m 1, 2.. .M,i отыскиваемое соотве ственно по значениям некогорентной и когорентной составляющих усредненного спектрального распределения W /W/, OJ - двумернь1й вектор координат в фокальной Ш1ОС кости; - шаг измерения Я - длина волны когерентног излучения; f - фокусное расстояние фокусирующего элемента; X - апертура исследуемого i распределения; С - постоянная прибора, зависящая от его параметров, а также от среднего пропускания (отражения) анализируемого объекта;D(to)- усредненная спектральная интенсивность. Истинное значение функции распределения числа частиц по размерам аппроксимируется выражением с соответствующей ошибкой аппроксимациийП (. Использование предлагаемого способа позволит простыгли средствами производить достаточно точный -экспресс-анализ контролируемых образцов, Формула изобретения Способ бесконтактного контроля поперечных размеров микрообъектов, заключающийся в том, что направляют на исследуемое распределение микрообъектов когерентное излучение, получают спектр пространственных частот исследуемого распределения путем фокусирования рассеянного им излучения, производят угловое усреднение интенсивности полученного спектра и измеряют радиальные составляющие усредненной интенсивности, о т л и ч аю щ и и с я тем,что,с целью повышения точности контроля, угловое усреднение производят, вращая спектр пространственных частот в плоскости фокусировки вокруг точки, соответствующей нулевой пространственной частоте, оценивают когерентную и некогерентную составляющие усредненного радиального спектрального распределения и по их величине судят о количестве микрообъектов соответствующего размера. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 619792, кл. G 01 В 2/30 19.78. 2.Патент США 3469921,кл.356-102 1969 (прототип).

Ю