Интерферометр для контроля формыВОгНуТыХ СфЕРичЕСКиХ пОВЕРХНОСТЕй Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ 1ФОРМЫ ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы вогнутых сферических поверхностей при их изготовлении и аттестации. Известен интерферометр для контроля формы сферических поверхностей содержащий осветительную, систему,, расположенные последовательно по ходу лучей светоделитель, объектив, апланатический мениск и регистратор интерференционной картины 1. Однако интерферометр обладает сравнительно невысокой точностью кон .троля, обусловленной тем, что цена интерференционной полосы равна половине длины волны получения используемого источника и, кроме того, сравнительно высокая трудоемкостьКОНТ-. роля из-за повышенной чувствительности интерференционной картины к децентрировкам контролируемой поверхности. Цель изобретения - повышение точности и снижение ..трудоемкости контро ля. поставленная цель достигается тем что интерферометр снабжен плоским зеркалом с отверстием, устанавливаемым в фокальной плоскости объектива отражающим покрытием к контролируемой поверхности, относительно центра кривизны которой зеркало смещается на величину, большую или равную d/4, где d - диаметр отверстия, центр которого совмещен с фокусом объектива. На чертеже представлена принципиальная схема интерферометра. Интерферометр содержит осветительную систему, выполненную в виде лазера 1 и микрообъектива 2, расположенные последовательно по ходу лучей светоделитель 3, объектив 4, апланатический мениск 5 со светоделитель рой поверхностью б, плоское з еркало 7 с отверстием 8,обращенное отражающим покрытием 9 к контролируемой поверх ности 10, и регистратор 11 интерференционной картины. Плоское зеркало 7 установлено так, что его отражающее покрытие 9 лежит в фокальной плоскости объектива 4, а центр отверстия 8 совмещён с фокусом F объектива 4. Плоское зеркало 7 смещается относительно центра кривизны контролируемой поверхности 10 на величину, большую или равную d/4, где d - диаметр отверстия 8 плоского зеркала