Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля вогнутых и выпуклых цилиндрических поверхностей.

Цель изобретения - распгарение диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, благодаря установке светоделителя в гомоцентрическом ходе лучей.

На чертеже изображена принципиалная схема интерферометра.

Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей содержит лазер 1,систему формирования цилиндрического волнового фронта, интерференционную и наблюдательную системы. Система формирования включает последовательно расположенные расширитель 2 лазерного пучка, мик- .рообъектив. 3, светоделительный кубик 4, апланатический мениск 5, ко- ллиматорный объектив 6 и цилиндрическую линзу 7. Интерференционная система представляет собой цилиндрический коаксиальный мениск 8. Трука 9 служит в качестве наблюдательной системьи

Интерферометр работает следующим образом.

Свет от лазера 1, расширенньй расширителем 2 лазерного пучка, собирается микрообъективом 3 в точку 0. С той же точкой оптически сопряжен фокус объектива 6. Апланатический мениск 5 служит для уменьшения габаритов прибора. После объектива 6 плоский волновой фронт преоб р зуется цилиндрической линзой 7. Коаксиальный цилиндрический мениск 8, ось цилиндрических поверхностей которого совпадает с задней фокальной нией цилиндрической линзы 7, разделяет падающий на его волновой фронт на рабочий (прошедший через него) и опорный (отраженный от вогнутой поверхности мениска и образующий волновой фронт сравнения). Рабочий во;1новой фронт собирается в фокальную линию О, с которой Совмещается фокальная линия контролируемой цилиндрической поверхности 10, отражается от контролируемой поверхности, идет в обратном направлении и интерферирует с опорным. Интерференционную картину, несущую информацию об ошибках,контролируемой цилиндрической поверхности, наблюдают телескопической трубкой 9.

260412

Благодаря установке светодели- тельного кубика в 1 омоцентрическом ходе лучей его габариты не ограничивают длины контролируемой цилинд- 5 рической поверхности. Одновременно выполнение интерферометра по схеме с совмещенными ветвями позволяет ограничиться при этом одной цилиндрической линзой, а использование ап10 ланатического мениска - сократить

габариты интерферометра.

Фор. мула изобретения

15 Интерферометр для контроля цилиндрических поверхностей, содержащий лазер, установленную по коду его излучения систему формирования цилиндрического волнового фронта,

20 включающую расположенные последовательно по ходу пучка излучения расширитель лазерного пучка и цилиндрическую линзу, светоделитель- ньй кубик, установленный на оси сис25 темы формирования, оптический элемент с эталонной цилиндрической поверхностью, оптически связанный со светоделительным кубико м и располо- женньй так, что ось кривизны его

30 поверхности оптически сопряжена с задней фокальной линией цилиндрической линзы, и наблюдательную систему, оптически связанную со светоделительным кубиком и установлен,, ную так, что ее оптическая ось совпадает с образуемым светоделитель- ной гранью кубика зеркальным изображением оси расширителя лазерного пучка, отличающийся тем,

Q что, с целью расширения диапазона типоразмеров контролируемых поверхностей, интерферометр снабжен последовательно расположенными по ходу пучка, выходящего из расширителя,

45 первым объективом, апланатическим мениском, установленным так, что его передняя апланатическая точка совпадает с задним фокусом первого объектива, вторЬм объективом, расположенJQ ным так, что его передний фокус совпадает с задней апланатической точкой мениска, светоделительный кубик установлен между первым объективом и мениском, а элемент с эталонной

„ поверхностью выполнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен по ходу прямого пучка, выходящего из цилиндрической линзы.

/ J .8

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля цилиндрических поверхностей. Цель изобретения - расширение типоразмеров контролируемых поверхностей. Интерферометр строится по схеме с совмещенными ветвями. Для этого эталонный оптический элемент вьшолнен в виде прозрачного коаксиального цилиндра и установлен после цилиндрической линзы так, что ось его поверхностей совпадает с задней фокальной линией линзы. Благодаря тому, что светоделительный кубик установлен в гомоцентрическом ходе лучей, его габариты не ограничивают длины контролируемой йоверх- ности вдоль оси цилиндра. 1 ил. и to to О)