Устройство для измерения размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об'ЕКТАХ Советский патент 1981 года по МПК G01B11/02 

Изобретение относится к-контрольно-измерительной технике и может быт использовано, в частности, для измере ния размеров элементов на плоских объектах г например размеров элементов топологического рисунка на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах на всех стадиях технологического процесса изготовления. Известно устройство для измерения размеров объектов, содержащее источник света с осветительной системой, направляющей коллимированный луч а измеряемый объект, линзу, осуществляющую Фурье-преобразование, пространственный фильтр, имеющий механический привод,, компенсирующий световую энергию от измеряемого объекта. Размер определяется по минимальному сигналу на фотоприемнике и положению механического привода 1. Недост-атком известного устройства яв.ляется УЗКИЙ диапазон измеряемых размеров, ограниченный конструкцией пространст венного фильтра, необходимость расче та и изготовления пространственного фильтра, невысокая точность измерени .Обусловленная конечными размерами прозрачных областей пространственног фильтра и его механического перемещения . Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является устройство для измерения размеров элементов на плоских объект ах, на пример, на фотсяйаблонах и полупроводниковых пластинах,. содержащее последовательно расположенные на одной оптической оси источник когерентного света, первую линзу, устанавливаемую на фокусном расстоянии от объекта, вторую линзу, фотоприемник и электронный блок обработки сигнала,пространственный фильтр. Измерительный размер выделяется по :минимальному сигналу на фотоприемнике 2 . . Недостатком этого устройства является невысокая точность измерения из-за наложения Фурье-спектров в области пространственного фильтра от различных элементой контролируемого объекта, необходимость расчета и изготовления пространственного фильтра для каждого измеряемого размера, низкая производительность, связанная с необходимостью сканиро1вания восстановленного изображения.t