Тепловой манометр Советский патент 1981 года по МПК G01L21/14 

Изобретение относится к вакуумно технике, в частности к тепловым маномерам. По основному авт. св. № 605136 и вестен манометр, у которого нагрева емая нить выполнена из биметалла, внутренний и наружный слой которого выполняют роль термопары 1. Недостатками известного манометр являются низкая чувствительность и стабильность. Цель изобретения - повышение чув вительности и стабильности за счет исключения влияния цепи.питания на цепь измерения термоэдс. Эта цель достигается тем, что Б тепловом манометре, в нагреваемой нити между наружным и внутренним слоями биметалла размещен слой диэлектрика. Введение изолятора между нитью накала и термопарой приводит к повышению чувствительности и стабил ности измерения давления, так как цепи питания нити накала и измерени термоэдс термопары не влияют друг на друга. На чертеже изображен предлагаекы манометр. Манометр содержит внешнюю нить 1а - 16, внутреннюю нить 2а - 26, изоляционный слой За -36, трансформатор 4, милливольтметр 5 и компенсирующие емкости 6. Устройство работает следующим образом. Трансформатор 4 подключают к концам внешнего слоя 1а - 16, милливольтметр 5 - к средней точке трансформатора 4 и центру внутреннего слоя 2а - 2 б.При подаче переменного напряжения питания на нити1а - 2а и 16 - 26 от трансформатора 4 они нагреваются и при этом возникает термоэдс в термопаре 1а - 2а и 16-26, Величина термоэдс. измеряется прибором-5. При изменении давления Т;ёмпература нити изменяется, меняет-ся и термоэдс, что служит мерой давления. Применение предлагаемого манометра позволит значительно повысить чувствительность и стабильность при измерении давления газа в вакуумных системах и установках, а изготовление рабочих элементов с помощью напылительной техники позволит получать идентичные гоадуировочные кривые

манометров и хорошую повторяемость от образца к образцу.

Формула изобретения

Тепловой манометр по авт. св. 605136, о т л и ч а ю тц и и с я тем,, что, с целью повышения чувствительности и стабильности за счет

исключения влияния цепи питания на цепь измерения термоэдс, в нагреваемой нити между наружным и внутренним слоями биметалла размещен слой диэлектрика.

Источники информации, принятые BQ внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 605136, кл. G 01 L 21/14, 1976.

1а. За

txxxxxjpooocxxxxi

Za

3S }5

Ixxxxxxxxxxxxxxxi

2S

pr4nrrYWYYV- rj