Стекло для спаивания с коваром Советский патент 1981 года по МПК C03C3/08 

(54) СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ С КОВАРОМ

Изобретение относится к состава стекал для изготовления корпусов и тегральных схем. Известно стекло, включающее SiO B/iOj. , ZnO, K,jp, NaaO, и в следующих количествах, вес SiOo65-69 BgOt16-19,5 двлО 2,7-3,3 4,5-5,5 3,0-5,0 1,5-2,5 . 0,02-0,8 0,08-2,2 Стекло обладает КЛТР порядка 44 X 10 град и температурой размягч ния +590 С. Наиболее близким к предлагаемо по технической сущности и достигаемому результату является стекло состава, ввс.%: 8-15 0,5-8,0 0,5-10 0,5-8 g,кроме того, CaO 0,5-5,0 12. Это стекло варится при температуре 1640с. К недостаткам этих составов относятся высокие температуры варки (1600-164СРс) и выработки стекла (vi500 C), небольшая химическая стойкость и низкие значения КЛТР ( 4410 град) , Цель изобретения - снижение температуры выработки, повышение химической устойчивости стекла. Поставленная цель достигается тем, что стекло для спаивания с коваром, включакхцее S i 0, , , ZtiO, BaO, Na/iO, и L i 30, дополнительно содержит HgO при следующем соотношении ингредиентов, масс.%: SiOo 52,0-59,8 ВаО 4,4-7,0 B,,0j 20,0-23,0 NaiO 3,8-4,2 2,5-4,0 3,8-5,0 ZnO 0,1-5,0 LiaO 0,5-0,8 MgO 0,1-5,0 Конкретные составы стекол приведены -в табл. 1. Физико-химические свойства привв денных составов стекол представлены в табл. 2.

Нгшичие у стекла предлагаемого состава хорошей адгезии к сплаву Ковар и химической устойчивости к воде и щелочи позволяет получить вакуумнЫе термические спаи.

Применение предлагаемого стекла для корпусов интегральных схем позволяет расширить область использования электронных приборов.и повысить рх надежность и долговечность.

Таблица 1

Таблица 2