Припоечное стекло Советский патент 1985 года по МПК C03C3/12 

Изобретение относится к технолог изготовления электроракуумных и пол проводниковых приборов, к составам стекол, применяемых для герметизаци германия со стеклом и может быть использовано в электронной технике для изготовления металлостеклянных корпусов полупроводниковых I приборов с входными окнами из германия. Известно легкоплавкое припоечное стекло, включающее, мас.%: РЬО 64-8 ВгО А-15; ZnO 4-11,5; SiOj 0,1-2; AljOj 0,1-4; CuO 0,5-2,5; BijO, 1-4; MgO 0,l-2; MnO 0,1-0,5; Sb203 0,1-3 Ll. Данное,стекло имеет КЛТР (83,687,0)-10 , температура размяг чения 376-380°С. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло, включающее, мас,%: SiO 50-70; А12.0з 3-5; GeOj 1-10; BgOj 4-12;. СггОз 0,2-0,3; РЬО 4-12 3-10; ZrOj 0,5-1,0. Температура спаивания стекла 700-900С 23. Недостатками известного стекла являются высокие остаточные напряжения по спаю стеклогерманий КЛТР германия 55-10 1/°С. Цель изобретения - обеспечение вакуумно-плотного спая с германием и снижение температуры спаивания. 7,2 Поставленная цель достигается тем,, что припоечное ст.екло, включающее Ge02,B20j ,PbO, PbFg ,гг02,дополнительно содержит TiO , . , ZnO при.следующем соотношении компонентов, мас.%: 6-10 50-60 7-14 0,5-1,0 0,2-0,5 Предлагаемые составы стекол приведены в табл.1. Стекло получают по обычной стекольной технологии. Физико-химические свойства известного и предлагаемых составов стекол приведены в табл.2. Применение предлагаемого состава стекла дает возможность получить надежные вакуумно-плотные соединения стекла с германием. Температура спаивания припоечного стекла в пределах 500г520°С дает возможность производить герметизацию германия без окисления его поверхности ивыгорания просветляющего покрБ1Тия (пленки ZnS ), а также улучшить кислотоустойчивость спая. Состав припоечного стекла найдет применение при изготовлении корпусов полупроводниковых и электровакуумных приборов. IТ а б л и ц а I

ПРИПОЕЧНОЕ СТЕКЛО, включаюЦее GeO, , PbO, PbF, ZrOj, отличающееся тем, что, с целью обеспечения вакуумно-плотного спая с германием и снижения температуры спаивания, оно дополнительно содержит TiO, ,, ZnO при следующем соотношении компонентов, мас.%: . n-16 GeOj 6-10 50-60 РЬО 7-14 PbFj, 0,5-1,0 ZrOj 4-6 TiOj 0,2-0,5 NbjOj 7-12 ZnO (0 d

РЬО

GeO

PbF.j

ZrOj

BjO

ZnO

TiOj,

Коэффициент линейного термического расширения КЛТР 10 -1/С

Температура спаивания, °С

Остаточные напряжения по спаю стекло-германий, нм/см

% светолропускания, состояние просветляющего покрытия в спаях Кислотоустойчивость после обработки в хромпике (.растворе в HjSO), % герметичности

Таблица 2

65

60

700-900

510

500

400-500

Практически отсутствуют

Просветляю94щее покрытие сгорает

Герметичность

герметичнарушается98