Способ контроля герметичностииздЕлий Советский патент 1981 года по МПК G01M3/40 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕДИЙ

Изобретение относится к технике и пытания изделий на герметичность. Известен способ контроля герметич ности, заключающийся в том, что изд лие погружают в обезгаженную жидкост создают в полости изделия избыточное давление газа и о негерметичности судят по наличию пузырьков газа в жидкости. 1 1. Недостатком этого способа являетс ограниченность области применения, поскольку он не позволяет выявлять изделия с малыми течами, так как в этом случае наблюдение пузырьков гага в жидкости становится затруднительным. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является спо соб контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что изделие помещают в камеру, опрессовываютего контрольной средой под давлением, а затем оценивают негерметичность пи наличию контрольной среды в изделии путем обнаружения масс-спектрометрическим течеискателем контрольной среды, выходящей из изделия в откачанный объем 2, Однако известный способ не обладает достаточной точностью испытаний, так как при наличии в изделии крупных течей .значительная часть контрольной среды, попавшей в него в процессе опрессовки, успевает покинуть изделие за время его установки в замкнутый объем и предварительной откачки последнего. Цель изобретения - повышение точности контроля. Цель достигается тем, что объем изделия после опрессовки облучают сверхвысокочастотной (СВЧ) электромагнитной энергией, длина волны которой выбрана из условия максимального поглощения этой энергии контрольной средой, а о наличии контрольной среды в изделии судят по величине затухания СВЧ энергии, вносимого изделием. Кроме того, в качестве контрольной среды используют вещество с резонансным сечением поглощения СВЧ энергии, например пары воды. На чертеже, представлена схема для реализации способа контроля герметичности изделий (транзисторов). Схема содержит излучатель 1 СВЧ электромагнитной энергии с волноводной линией 2, приемник 3 СВЧ энергии с волноводной линией 4. Волноводные линии 2 и 4 предназначены дл подсоединения к контролируемому изделию - транзистору 5. Схема также содержит последовательно соединенны с приемником 3 схему 6 сравнения и инд.икатор 7. Способ осуществляется следующим образом. Транзистор 5 помещают в камеру ( чертеже не показана) и спрессовываю контрольной средой под давлением 510 атм. в течение 5-10 ч. В качестве контрольной среды используют пары воды, поскольку экспериментально ус тановлено, что при прохождении СВЧ электромагнитного излучения с длино

волны равной 1,35 см в парах воды мого изделием.

ет место резонансное поглощение СВЧ энергии. После опрессовки транзистор 5 соединяют с излучателем 1 и приемником 3 через соответствующие волноводные линии 2 и 4.Внутренний объем транзистора 5 облучают СВЧ электромагнитной энергией с указанной длиной волны 1,35 см, которая Принимается приемником 3. При наличии в транзисторе 5 паров воды имеет место дополнительное, по сравнению с герметичш 1М прибором, затухание СВЧ энергии.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Ланис В. А., Левина Л.Е. Техника вакуумных испытаний. М., Госэнегоиздат, 1963, с. 242 (прототип). 44 которое оценивается схемой 6 сравнения и регистрируется индикатором 7. Использование предлагаемого изобретения позволяет с высокой достоверностью контролировать герметичность изделий, имеющих дефекты (течи) в широком диапазоне величин (малые, промежуточные и грубые течи), а также создает возможность для автоматизации процесса испытаний. Формула изобретения 1 . Способ контроля гермет1 чности изделий, заключающийся в том, что изделие помещают в камеру, опрессовывают его контрольной средой под давлением, а затем оценивают негерметичность по наличию контрольной среды в изделии, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, объем изделия после опрессовки облучают сверхвысокочастотной (СВЧ) электромагнитной энергией,длина волны которой выбрана из условия максимального поглощения этой энергии контрольной средой, а о наличии контрольной среды в изделии судят по величине затухания СВЧ энергии, вноси-.