Диффузионный вакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04F9/02 

1

Изобретение относится к накуумной технике.

Известны диффузионные вакуумные насосы, рабочим веществом в которых является масло, р.

Недостатками этих насосов являюся разрушение масла при откачке химически активных сред, загрязнение откачиваемого объема нарами масла,

Известен также диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, внутри которого концентрично расположен охла :даемый цилиндр, и размещенный в нем с образованием кольцевого зазора сопловой блок, в котором высоконапорная струя, например углекислого газа, конденсируется на криогенной поверхности, охлаждаемой хладагентом, например жидким азотом. При этом происходит диффузия откачиваемого газа в струю углекислого газа, перенос и сжатие его в струе.

в известном насосе обеспечиваются получение чистого вакуума, возможность откачки агрессивныхсред, -независимость работы насоса от его ориентации в пространстве 2.

Однако конструкция известного диффузионного насоса не полностью использует откачные свойства сверхзвукового потока газа или пара, вследствие неоптимального расположения и формирования потока. Кроме того, часть рабочего газа или пара увлекается в направлении выхлопа насоса вместе с потоком откачиваемого таза, что приводит к дополнительной нагрузке насоса- предварительного разрежения.

Цель изобретения - улучшение откачных свойств насоса.

Указанная цель достигается тем, что сопловой блок выполнен с возможностью осевого перемещения, а в выходном патрубке установлена охлаждаемая решетка, и блок в крайних положениях расположен от входного патрубка и решетки на расстояниях, составляющих соответственно не менее 1,5 зазора и не менее цилиндра.

На чертеже изображен предлагаемьй насос, продольный разрез.

Диффузионный вак5гумный насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками, внутри которого концентрично расположен охлаж даемый цилиндр 4 и размещенный в нем с образованием кольцевого зазора CV сопловой блок 5. Сопловой 5 выполнен с возможностью осевого перемещения, а в выходном 3 патрубке установлена охлаждаемая решетка 6, и блок 5 в крайних пбложв ниях расположен от входного 2 патрубка и решетки 6 на расстояниях Й- и &fj составляющих соответственно не менее 1,5 зазора а и не менее радиуса R щшиндра 4.

jacoc работает следующим образом.

Углекислый газ, истекая из сопел соплового блока 5 конденсируется в твердую фазу на поверхностях охлатКдаемого цилиндра 4. При движени углекислый газ увлекает молекулы некогщенсирующегося газа, дифундирующего в сверхзвуковой поток СО,, к выхлопу насОса,

В связи с тем, что сопловой блок расположенот входного патрубка и решетки на расс:тояниях, составля ющих соответственно 1,5 за:зора уменьшается предельное давление на входе в насос, вследствие вымораживания обратных потоков углекислого газа.

Наличие на выхлопе диффузионного насоса охлаждаемой решетки на расстоянии не менее радиуса В i цилиндра 4 уменьшает продольный размер насо- са примерно в два результате того, что сопловой блок 5 имеет возможность непрерывно перемещаться вдоль оси насоса, увеличивается временный ресурс непрерьшной работы насоса.

Формула изобретения

Диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус с входньм и выходны патрубками, внутри которого концентрично расположен охлаждаемый цилиндр и размещенный в нем с образованием кольцевого зазора сопловой блок, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных свойств насоса, сопловой блок выполнен с возможностью осевого перемещения , а в выходном патрубке установлена охлаждаемая решетка,и блок в крайних положениях расположен от входного патрубка и решетки на расстояниях, составляющих соответственно не менее 1,5 зазора и не менее радиуса цилиндра.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Цейтлин А. Б. Пароструйные вакуумные насосы. М., Энергия, 1965, с. 196-322.

2.Авторское свидетельство СССР № 191739, кл. F 04 F 9/00, 1965.

A

/

5

-И