Диффузионный вакуумный насос Советский патент 1983 года по МПК F04F9/02 

Изобретение относится к вaкyy етo технике.

Известен диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, внутри которого установлен основной сопловой блок Г 1 .Однако в насосе откачиваеилй объем не защищен от обратного потока рабочего газа. В связи с этим, сопловой блок должен быть расположен внутри криогенного контура, что препятствует полному использованию струи для откачки газа.

Цель изобретения - улучшение предельного вакуума и увеличение быстроты действия.

Поставленная цель достигается тем, что насос дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме подвижный сопловой блок, снабженный охлаждае№лм надсопельником, а основной сопловой блок имеет охлажцаемый кожух, открытый со стороны выходного патрубка, и между последним и основным блоком расположейа охлаждаемая диафрагма.

В критическом сечении сопел установлены пористые вставки.

На чертеже показан насос, продолный разрез.

Диффузионный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, внутри которого установлен основной .сопловой блок 4. Насос дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме 5 подвижный сопловой блок б,

снабженный охлаждаекым надсопельником 7, а основной сопловой блок 4 имеет охлаждаемый кожух 8, открытый со стороны выходного патрубка 3, и межцу последним и основным блоком 4 расположена охлаясдаемая диафраг- ма 9. В критическом сечении сопел 1 установлены пористае вставки 11.

Насос работает следукадим образом

После предварительного вакуумирования откачиваемого объема захолаживаются криогенные поверхности насоса и подается газ к соплам основнопэ и подвижного сопловых блоков

4и 6.

Откачка газа осуществляется путе проникновения откачиваемого газа в струю рабочего и выносом его к выходу, либо к следующей ступени откачки.

Подвижной сопловой блок б снабжен охлаждаемым надсопельником 7 с целью замораживания обратных потоков рабочего газа.

Для увеличения скорости струи рабочего газа необходимо повысить температуру торможения потока. Для этого в критических сечениях сопел 10 установлены пористые вставки 11.

Размещение в откачиваемом объеме

5подвижного соплового блока б, снабженного охл.аждаемлм надсопельником 7, и наличие охлаждаемого кожуха 8 позволит эффективнее использовать энергию струй рабочего газа,

улучшить предельный вакуум и увеличить бьгтроту действия насоса.

1.., ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, внутри кото,рого установлен основной сопловой блок, отличающий ся тем, что, с целью улучшения предельнохч) вакуума и увеличения быстроты действия, он дополнительно содержит размещенный в откачиваемом объеме подвижной сопловой блок, снабженный охлаждаемым надсопельником, а основной сопловой блок имеет охлаждаемый кожух, открытый со стороны входного патрубка, и между последним и основным блоком расположена охлгикдаемая диафрагма. 2. Насос по п. 1, отличающий с я тем, что в критическом сечении сопл установлены пористые вставки.