Вакуумный сорбционный насос Советский патент 1989 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным вакуумным насосам.

Цель изобретения - улучшение от- качных характеристик насоса.

На фиг.1 представлен насос, продольный разрез, на фиг.2 - то же, поперечный разрез-, на фиг.З - схема подключения испарителей геттера к системе питания.

Вакуумный сорб1Ц1онный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и размещенный по оси корпуса 1 стержневой анод 3 и катод 4. Насос дополнительно содержит два цилиндрических охлаящаемых сосуда 5 и 6,расположенных в корпусе 1 коаксиально аноду 3 с образованием кольцевой полости, разделенной на секции 7 при помощи радиальных охлая даемых полиро- Ванных перегородок 8. Каждая секция ;7 снабжена испарителем 9 геттера, |расположенным параллельно стержнево- ;му аноду 3. Испарители 9 подключены через переключатель 10 к источнику питания, перегородки 8 закреплены на стенках охлазвдаемых сосудов 5 и 6 с тепловым контактом.

Насос работает следующим образом.

На испарители 9 подается электропитание и в результате разогрева происходит испарение геттерного материала, например титана, и осаждение его на стенках секции 7, охлаждаемых до низких температур. Осажденная пленка геттера активно поглощает поступающие в полость корпуса 1 через входной патрубок 2 газы из откачиваемого объема. Эффективность работы насоса достигается включением в работу не всех секций сразу.

а попеременно части из Них. Переключение секций производится автоматически при помощи переключателя 10.

Более интенсивная откачка инертных газов происходит в центральной части насоса, где на анод 3 подается высокое напряжение и электроны, эмитируемые катодом 4, двигаясь по

кольцевым орбитам вокруг анода 3, ионизируют откачиваемый газ, который поглощается пленкой титана.

Таким образом, переменная работа секций насоса, каждая из которых эффективно откачивает определенный род газа, обусловливает улучшение откач- ных характеристик насоса.

Формула изобретения

1.Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с выходным патрубком, размещенный по оси корпуса стержневой анод и катод, о т л и ч аю щ и и с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, насос дополнительно содержит два цилиндрических охлаждаемых сосуда, расположенных в корпусе коаксиально аноду

образованием кольцевой полости, разделенной на секции при помощи радиальных охлаждаемых полированных перегородок, и каждая секция снабжена испарителем геттера.

2.Насос ПОП.1, отличающийся тем, что испарители геттера расположены параллельно стержневому аноду.

3.Насос по П.1, отличаю40

щ и и с я тем, что перегородки закреплены с тепловым контактом на стенках охлаждаемых сосудов.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбционного насоса. По оси корпуса 1 размещен анод 3, окруженный охлаждаемым сосудом 5. Коаксиально сосуду 5 установлен сосуд 6. Полость между сосудами 5 и 6 разделена на секции, в каждой из которых размещен испаритель 9 геттера. При работе насоса испарители 9 включаются попеременно, а анод 3 и катод 4 включены постоянно. Откачка газов осуществляется на осаждаемых на поверхностях сосудов 5 и 6 и перегородок клепках геттера, причем для эффективной откачки инертных газов осуществляется их ионизация в зоне анода 3. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

фиг.З