Пьезоэлектрический манометр Советский патент 1981 года по МПК G01L9/08 

(54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР

t

Изобретение относится к приборостроению, в частности к пьезоэлектрическим манометрам.

Известны пьезоэлектрические манометры, содержащие корпус с размещенным в нем пьезорезонатором, по изменению добротности которого судят об измеряемом давлении 1.

Известны также пьезоэлектрические манометры, содержащие корпус с установленными в нем пьезоэлементами с системами входных и выходных электродов, генератор и электрическую схему измерения добротности 2.

Недостатками этих манометров является малая точност|| и сложность конструкции.

Цель изобретения т- повышение точности и упрощение конструкции.

Указанная цель достигается тем, что пьезоэлемент закреплен на подвесках в корпусе в узлах стоячей волны собственных изггибных колебаний и жестко соединен своими торцами в плоскости излучающих поверхностей с двумя демпфирующими элементами, выполненными в виде пластин, а также тем, что в электрическую схему измерения добротности введен блок выделения второй гармоники изгибной моды колебаний, соединенн{ 1й с выходными электродами пьезоэлемента и тем, что пьезоэлемент выполнен из монокристалла силиката или германата висмута.

На чертеже представлена схема описываемого манометра.

Манометр содержит корпус 1 с гермовыводами 2, на которых на подвесах 3 закреп,д лен в узлах стоячей волны собственных изгибных колебаний пьезоэлемент 4 жестко соединенный своими торцами в плоскости излучающих поверхностей с двумя демпфирующими элементами 5, выполненными в виде пластин. Входная и выходная системы

15 электродов пьезоэлемента 4 соединены, соответственно, в электрическую схему измерения добротности, образованную генератором 6, блоком 7 выделения второй гармоники изгибной моды колебаний и регистрирующим прибором 8. Пьезоэлемент 4 выполнен из монокристалла силиката или германата висмута.

Манометр работает следующим образом.