Устройство для измерения парциаль-НОгО дАВлЕНия КиСлОРОдА B ВАКууМЕ Советский патент 1981 года по МПК G01L21/30 

Изобретение относится к газоаналитической технике и может быть использовано при исследовании взаимодействия кислорода с поверхностями твердых тел. Известен полупроводниковый измеритель парцисшьного давления газов, включающий корпус, на котором закреплён чувствительный элемент, соде жащий чувствительный слой и нагреватель 1. Недостатком этого измерителя является высокая температура чувствительного слоя. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является измеритель парциального давления кислорода, содержащий корпус, катод покрытый, чувствительным слоем из окиси циркония, и анод. Температура катода поддерживается постоянной с помощью нагревателя и термометра сопротивления, включенных в мостовую схему 2. Недостатком этого измерителя является высокая температура чувствительного сло, вызывающая изменение состава газов, что вносит погрешности в измерения. Цель изобретения - повышение точности измерения. Указанная цель достигается тем, что в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочно-земельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическая подложка, причем термометр сопротивления, нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком. На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, в плане. Устройство содержит корпус 1 с крышкой 2. На корпусе закреплены изоляторы 3, на которых расположена подложка 4.На подложке. 4 расположены слой термометра 5 сопротивления с контактными площадками 6, диэлектрик 7, слой нагревателя 8 с контактными площадками 9, диэлектрик 10, чувствительный слой 11 с катодом и анодом и с контактными площадками 12. Устройство работает следукндим образом . При взаимодействии молекул кислорода с поверхностью чувствительного слоя 11 при 400-600 С изменяется сопротивление чувствительного слоя 11. Величина сопротивления чувствительного слоя 11 является функцией парциального давления кислорода в вакууме Получение температуры 400600 С и измерение ее величины осуществляются соответственно нагревателем 8 и термометром 5 сопротивления. Селективность измерения кислород в смеси газов обеспечивается д обавлением в чувствительный слой металл Таким образом, введение в чувствительный слой меташла, например се ребра, позволяет уменьшить погрешность измерения кислорода за счет снижения температуры чувствительного слоя. Формула изобретения Устройство для измерения парциального давления -кислорода в вакугуме, содержащее корпус, анод, катод, чувствительный слой из окиси циркония и нагреватель с термометром сопротивления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, в чувствительный слой введен редкоземельный или щелочноземельный или переходный металл, а в устройство введена диэлектрическая подложка, причем термометр сопротивления, нагреватель и чувствительный слой с катодом и анодом последовательно расположены на ней в виде слоев и разделены диэлектриком. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент США 3479257, кл. 204-1,18.11.69. 2.Заявка Великобритании 1301931, кл. G 1 N, 04.01.73 (прототип).