Устройство для дискретного по площа-ди эКСпОНиРОВАНия Об'ЕКТА Советский патент 1981 года по МПК G03B3/06 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСКРЕТНОГО ПО ПЛОЩАДИ . Изобретение относится к приборостроению, в частности к автоматизации процесса Bbinojh нения прецизионных изображений фотошаблонов интегральных схем, фотошаблонов плат печатного монтажа радиоэлектронной аппаратуры, и может использоваться в радиоэлектронике и микроэлектронике. Известно устройство двухкоординатного перемещения,- соцержащее координатный стол и источник света. Обрабатываемый объект располагается иа координатном столе, имеющем возможность движения по двум координатам относительно источника света (11. Известно также устройство, содержащее координатый стоя, каретку однокоординатното перемещения и каретку двухкоординатного пер мещения с приводами их перемещений, держатель экспонируемого объекта, оплмескую систему, источник излучения, дозатор излучения и блок программного управления приводами кареток 2. Обрабатываемый объект располагается на поверхности стола неподвижно, а не точник света имеет возможность перемещаться ЭКСПОНИРОВАНИЯ по двум координатам относительно обрабатываемого объекта. Однако отмечается малая производительность устройства, так как при значительных массах перемешающихся частив трудно достигнуть больших величин ускорений и, следовательно больших скоростей для сравнительно небольших величин перемещений. Целью изобретения является повышение производительности устройства для дискретного по площади экспони| ования объекта. Поставленная цель достигается тем, что каретки вьшолнены в виде двух механически независимых установленных в одной плоскости подвижных индукторов-роторов линейного щагового двигателя, причем приводы синхронного перемещения обеих кареток по одной координате подключены к одному нз входов блока управления приводами, выход которого по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоордкнатного перемещения, причем источник излучения и держатель экспонируемого объекта установлены не 3 подвижно, в качестве статора линейного шагового двигателя использована опорная магнит ная поверхность координатного стола, имеющая выраженные полюса по всей плоскости. На фиг. 1 приведена приниипиальная схема устройства; на фиг. 2 - то же, ввд сбоку. Устройство содержит пластину 1, статор 2 с полюсами 3, индукторы 4 и 5, кркала 6 и 7, обрабатываемый объект 8, держатель 9 обрабатываемого объекта, источник излучения И формирователь луча 10, дозатор 11, устройство программного управления 12 и блок управления приводами 13. Устройство работает следующим образом. Пучок света от источника , напри мер лазера 10, регулируемый дозатором света 11, управляемым устройством программного управления 12, попадает на однокоординатаый индуктор 4 и, отразившись от зеркала 6, расположенного на индукторе 4 под углом 45° к направлению луча, попадает на зеркало 7, зафиксированное на индукторе 5 также под углом 45° к направлению светового луча. Луч света, отразившись от зеркала 7, будет зкспон poBliTb материал 8, закрепленный на держателе 9 экспонируемого материала При перемещении индуктора 5 в направлении координаты X лу|, отраженный от зеркала 7, будет последовательно экспонировать участк объекта 8, расположенные на прямой, параллельной координате X. При перемещении индук торов 4 и 5 вдоль кoopд fflaты У происходит экспозиция участков объекта 8, расположенных на прямой, параллельной координате У. Таким образом, для зкспонирования определенных участков, устройство программного управления 12 задает перемещения индукторов 4 и 5 таки образом, чтобы луч света попадал на нужные участки экспонируемого объекта. Устройство программного управления 12, задавая скорости перемещения индукторов 4 и 5 по координатам X и У и регулируя дозатором 11 энергию излучения, может форлировать необходимую траекторию движения луча относительно экспонируемого объекта 8 и фор- 45 NoqKman. на объекте не только прямолинейные, во и криволинейные участки изображшия. , bfe 4 и 5 перемещаются по координате У синхронно, не имея механической едязи, а имея только управление от общих сигналов блока управления приводом. Несмотря на то, что исполнительный- орган устройства - индуктор 5 может перемещаться (щвовремешю по двум координатам X н У, JQ достаточно массивный источник излучения (лазер) 10 может быть неподвижным ввиду наличия второго индуктора 4, синхронизированного первым шщуктором 5 по перемещению в направлении оси У. Так как в предлагаемом устройстве и обрабатываемый объект 8 и источник излучегшя 10 вместе с дозатором излучения 11 неподвижны, то перемещающиеся индукторы 4 и 5 могут быть изготовлены малоинерционными. Таким образом технико-экономические преимущества описанного устройства заключа1отся в згвеяичешш быстродействия за счет малоинерционности элементов устройства, что позволяет повысить производительность устройства. Форм, ула изобретения 1.Устройство для дискретного по площади экспонировшшя объекта, содержащее координатный стол, каретку однокоординатного перемещения и каретку двухкоординагаого перемещения с приводами их перемещений, держатель экспоifflpyeMoro объекта, оптическую систему, источник излучения, дозатор излучения,устройство программного управления и блок управления приводами кареток, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, каретки выполнены в виде двух механически независимых установленных в од1юй плоскости подвиж1п 1х индукторов-роторов линейного шагового двигателя, причем приводы синхронн ного .перемеще1гия обеих кареток по одной координате подключены к одному из входов блока управлен1Ю приводами, выход KOioporo по второй координате подключен к другому приводу каретки двухкоординатного перемещершя, причем источник излучения и держатель экcпo шpyeмoгo объекта установлены неподвижно. 2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве статора линейного шагового двигателя использована опорная магнитная поверхность координатного стола, имеюпая выраженные полюса по всей шюо кости. Источники информацин, принятые во внима}ше прн экспертизе 1.Патент США N 3617.125, НКИ 355-46, 1971. 2.Патент США tC 3641885, кл. 354-4, 1972 (прототип).

§

2

К /

/J