ВСЕСОЮЗНАЯ П1ТЕЙТ^П-Г^:^;-'>&'?'!:П[-;БИБЛИОт:::кА Советский патент 1972 года по МПК H05K3/00 G03F7/22 

Изобретение относится к технологии изготовления интегральных и полупроводниковых приборов, в частности, для изготовления фотошаблонов при производстве интегральных микросхем.

Известна фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов, содержаш,ая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направляюш,ими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную нод углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения каретОК, репродукционную камеру с негативом и электронный блок управления.

Цель изобретения - повышения точности шагового перемещения координатного стола. Достигается она тем, что механиз.мы перемещения кареток предлагаемой установки выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец .каждого из которых жестко связан с приводом каретОК, а другой выполнен Б виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток.

На фиГ. 1 изображена схема фотокопировальной установки; на фиг. 2 - двухкоординатный стол; на фиг. 3 - механизм передачи движения от привода к каретке.

Фотокопировальная установка многократного действия содержит двухкоординатный стол / с верхней и нижней каретками поперечного и продольного перемещения, лазерный интерферометр 2 для управления столом,

приводные элементы 5 каждой каретки, репродукционную камеру и электронный блок управления (не показаны).

В интерферометр входят газовый лазер 4, светоделительная пластина 5, раздваивающая лазерный луч, светоделительная пластина 6, пройдя через которую два параллельных луча расходятся под углом 90°; два неподвижных зеркала 7, две светоделительные нластины 8, направляющие лучи через зеркальные призмы 9 в фотолриемные устройства 10, связанные с электронным блоком управления, два подвижных зеркала // на верхней каретке. Верхняя каретка 12 с аэростатическими направляющими перемещается относительно направляющей 13, неподвижно закрепленной на нижней каретке 14, также с аэростатическими направляющими, которая перемещается по направляющей 15, неподвижно закрепНа верхней каретке устаиовлена рамка 16, с фотошаблоном 17.

Чтобы Механический привод не мог воздействОВать на аэростатические направляющие, каждая каретка снабжена механизмом перемещения в виде стержня 18, один конец которого жестко связан с приводным элементом, а другой выполнен в виде сферы, связанной с кареткой пружиной 19.

Через опорную пластину 20, расположенную на шариках 21 в сепараторе 22, каретка взаимодействует с приводными элементами. В пластине имеется отверстие с конусной поверхностью 23, взаимодействующей со сферической поверхностью стержня. Светоделительная пластина 5 интерферометра располагает два параллельных луча в горизонтальной плоскости, совпадающей с плоскостью экспОНиро-вания.

Аэростатические направляющие кареток замкнуты также в горизонтальной плоскости, что обеспечивает плавность движения и исключает перекосы.

Установка работает следующим образом. РаМКу 16 с заготовкой фотошаблона 17 укладывают в исходном положении на верхнюю каретку 12 под негатив экспонируемой схемы, расположенной в репродукционной камере. Каретка под действием привода перемещается по оси X на шаг, равный шагу размещения схем на фотошаблоне. При движении зеркала 11 вместе с верхней кареткой на фотодиодах наблюдается инерференционная картина, вызывающая на выходе фотодиодов импульсы, считываемые реверсивным счетчиком электронного блока управления.

Достигнув заданной координаты, каретка останавливается, и происходит экспонирование. Шаговое перемещение с последующим экспонированием производится на всей длине фотошаблона по оси X. Затем нижняЯ каретка передвигается на шаг по оси У, т. е. на следующий ряд, и процесс щагового перемещения и экспонирювания .продолжается аналогично описанному выще. После обхода всей рабочей площади фотошаблона стол останавливается.

Предмет изобретения

Фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов интегральных микросхем, содержащая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направляющими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную под углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения кареток, репродукционную камеру с негативом и электронный блок управления, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности шагового перемещения координатного стола, механизмы перемещения кареток выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец каждого из которых жестко связан с приводом кареток, а другой выполнен в виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток.

fS 17

/ 10

/X

I

1

//

h

W3

/

19

° . 23