Высоковакуумный электрический ввод Советский патент 1981 года по МПК H01B17/26 

1

Изобретение относится к электро- ; технике, в частности к установкам для напыления металлов и выращивания кристаллов.

Известен электрический ввод в вакуумную камеру, состоящий из мембраны, токоввода и фланцевого соединения ij .

Однако указанный электрический ввод имеет огранич- нный ход и скорость вращения за счет использования мембраны, поэтому возникает разрушение материала мебраны, а также большое газовыделение в рабочий объем камеры, особенно при термоциклировании. В результате этого данный электрический ввод мало надежен, применение его ограничено.

Наиболее близким к изобретению является высоковакуумный электрический ввод, содержащий токоввод, металлокерамический узел, герметичный корпус, сильфонный узел и присоединительные фланцы 2 .

Недостатками известного электрического ввода являются мгшый ход токоввода, так как сильфонный узел предназначен для небольших переме-. щений, а также отсутствует возможность вращательного и. винтового дни

жения, которое необходимо осуществлять в напылительных установках и в установках для выращивания кристаллов .

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей.

Поставленная цель достигается тем, что высоковакуумный электрический ввод, содержащий расположенный

to в герметичном корпусе электрод и охватывающий его изоляционный элемент, снабжен экраном, выполненным в виде телескопически соединенных втулок с отогнутыми в противополож«5ные стороны концами и расположенным в жидкостном уплотнителе, причем высота втулок соответствует высоте слоя уплотнителя, а изоляционный элемент герметично соединен с экра20ном и электродом.

На чертеже показано устройство, общий вид, разрез.

Устройство содержит электрод 1, герметично соединенный с изоляцион25ным элементом 2, нижняя часть которого герметично соединена с экраном 3, на нижнем конце которого выполнена промежуточная ванна 4, на верхней части электрода 1 установлен

30 электроконтакт 5. В качестве уплотнителя электрического ввода используется заполненная в ванну б жидкость 7. В ванне б размещаются телескопические втулки 8, каждая из которых выполнена с отогнутыми в противоположные стороны концами, образующими верхние и нижние оппозитно расположенные буртики с 1 -образными выемками, при этом верхние буртики имеют контакты 9 с проводами 10, соединенные с разъемом 11, а нижние представляют собой промежуточные ванны 12, на концах которых установлены диэлектрические кольца 13.Диэлектрические кольца 14 установлены также на верхних буртиках телескопических втулок 8. Ванна 6 имеет изоляцию 15 и ограничитель 16 перемещения. Токоввод изолирован также от ванны 6 керамической втулкой 17, закрепленной байонетно. В нижней части электрода 1 имеется узел 18 вакуумного уплотнения, состоящий из резиновых манжет 19, фторопластовых втулок 20 и гайки 21. Узел , вакуумного уплотнения размещен в герметичном корпусе 22, соединенном с ванной б и имеющем штуцер 23 для откачки внутреннего объема. Ванна б в верхней части имеет фланец 24, с уплотнителем 25, обеспечивающим герметичное соединение высоковакуумного электрического ввода с рабочим объемом камеры (на чертеже не показана) .

Устройство работает следующим образом.

Перед началом использования электрического ввода в ванну 6 заливают вакуумный уплотнитель 7. Затем присоединительный фланец 24 через уплотнение 25 герметично подсоединяют к рабочему объему установки и производят одновременно откачку внутреннего объема корпуса 22 через штуцер 23 и рабочего объема камеры установки до давления 10 Па. После этого уплотнение готово к работе. Для передачи нужного движения электрод 1 вращают или поступательно перемещаю При этом обеспечивается контактирование изделий с устройствами контактами 5 и 9. При поступательном перемещении экран 3 захватывает стенкой промежуточной ванны 4 соседнюю телескопическую втулку 8,вынимая ее из ванны 6 выше уровня вакуумного уплотнения 7, при этом геметичность уплотнения не нарушается за того, что в промежуточной

ванне 4 находится У-образная выемка телескопической втулки 8, окруженная уплотнителем 7. Таким образом, по мере увеличения перемещения электрод захватываются и выходят из ванны 6 все стаканчики 8, образуя телескопический экран. Электрод при этом может вращаться. Электроизоляцию электрода 1 и телескопических втулок 8 обеспечийают резиновая манжета 19, фторопластовые втулки 20, внутренняя выемка керамической втулки 17 и диэлектрические кольца 14. Кроме того, внутренняя поверхность ванны 6 имеет изоляцию 15. Для ограничения переме щения крайней втулки 8 установлен ограничитель 16, находящийся в ванне б постоянно ниже поверхности уплотнителя на 2-4 мм.

Предлагаемое устройство высоковакуумного электрического ввода позволяет осуществлять в рабочем объеме камеры соединение токоведущих цепей с источниками питания и измерения, находящихся за пределами установки, а также обеспечивает вращательно-поступательные движения энергетических систем с одновременно подачей энергии, работающих в сверхвысоковакуумных установках с давлением не ниже 10 Па.

Формула изобретения

Высоковакуумный электрический ввод, содержащий расположенный в

е герметичном корпусе электрод, охватывающий ef9 изоляционный элемент, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, снабжен жидкостным уплотнителем и расположенным в нем

экраном, выполненным в виде телескопически соединенных втулок с отогнутыми в противоположные стороны концами, при этом изоляционный элемент герметично соединен с экраном и электродом, а высота втулок соответствует высоте уплотнителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Фролов Е.С. и др. Вакуумные

д системы и их элементы. Атлас-справочник. М., Машиностроение, 1968, с. 98, рис. 76.

2.Фролов Е.С. и др. Вакуумные системы и их элементы. Атлас-справоч5 ник. М., Машиностроение, 1968, с. 98, рис. 76 ж.