Изобретение относится к уплотнительной технике, в частности к устройствам для герметизации вводов подвижных элементов в вакуумные камеры.
Известно уплотнение ввода верти- 5 кального вала в вакуумную камеру,содержащее установленную на камере кольцевую ванну с расплавляемым уплотнителем и входящий в нее герметично закрепленный на валу разделительный ста-О кгш 1 .
Недостатком известного уплотнения является невозможность применения его для герметизации возвратНо-поступательно перемещшощегося вала.15
Цель изобретения - обеспечение возможности герметизации при возвратно- поступательных перемейениях вала.
Достижение поставленной цели обеспечивается тем, уплотнение ШаВ- 20 жено установленными в ванне е вОэйЬйностью осевого перемещения концентрическими втулками, на нижних торцах стакана и втулок выполнены промежуточные-, кольцевые ванны, а на верхних торцах втулок и стенке ванны - разделительные кольцевые выСтупы, входящие при nejpeмещениях вала в промежуточные ванны, причем высота втулок не больше высоты слоя уплотнителя в ванне.
На фиг. 1 изображено уплотнение, крайнее нижнее положение вала; на фиг. 2 - то же, крайнее верхнее положение вала.
Уплотнение содержит кольцевуюванну 1, заполненную расплавляемым уплотнителем 2, в качестве которого могут использоваться легкоплавкие металлы или их эвтектические сплавы. На вертикальном уплотняемом валу 3 герметично закреплен разделительный стакан 4. В ванне установлены с возможностью освого перемещения концентричные втулки 5. ria нижних торцах стакана и втулок выполнены промежуточные ванны 6, а на вёрхШ1х оЩж ГдауЭДойГ1и&тёНКе ванны - раздёлитёльныё кольцев ые выступы 7. Втулки выполнены высотой не больше высоты слоя уплотнителя ванны, а их №бвёр хнЬст1ь7 кЖк й кбитактйрУющие с уплотнителем поверхности ванны и стакана, покрыты слоем материала, хрошо смачиваемым расплавленным уплотнителем-. Уплотнение снабжено отделяющими ванну от окружающей среды промежуточной камерой 8 и форвакуумным уплотнением 9, а также нагревателем 10, предназначенньм для плавления уплотнителя.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Вакуумное уплотнение вала | 1979 |
|
SU832197A1 |
Высоковакуумный электрический ввод | 1979 |
|
SU855746A1 |
Запорное устройство | 1979 |
|
SU838254A1 |
Вакуумный клапан | 1980 |
|
SU932069A1 |
Сверхвысоковакуумный затвор | 1980 |
|
SU872897A1 |
Сверхвысоковакуумный клапан | 1979 |
|
SU872881A1 |
Быстроразъемное сверхвысоковакуумное фланцевое соединение | 1976 |
|
SU737692A1 |
Быстроразъемное сверхвысоковакуум-HOE уСТРОйСТВО | 1979 |
|
SU806974A1 |
Быстроразъемное фланцевое соединение труб | 1977 |
|
SU734474A1 |
Сверхвысоковакуумный клапан | 1978 |
|
SU752097A1 |
Авторы
Даты
1979-07-05—Публикация
1977-07-07—Подача