Анод для автоэлектронного микроскопа Советский патент 1981 года по МПК H01J37/285 

Изобретение относится к автоэлектрон ной микроскопии и Чложег быть использовано при исслецсйании эмиссисжньк свойс граней монокристаллов. Автоэлектронный микроскоп содэржиг в качестве одаого из оснсюных эламентсе аноо, представляющий собой металлический шск с люминофорным покрьлием и зонаовым отверстием в центре. Для изме рений автоэлектронных токсж по различным направлениям осуществляют перемещения анода или наклон ij. Однако точность установки зондового отверстия невегеска. Более высокую точность обеспечивает анод для автоэлектронного ми1 оскопа, .состоящий из двух соосных врашакядихся металлических дисков с зондсдаыми отверстиями, первый из которых по ходу электронного пучка выполнен с лгоминофор ным покрытием со стороны образцов известном аноде зондовые отверстия, выполненные путем сверления, не явл$потся идентичными вследствие технолорнческих погрещностей, а также образуют нестабильное сечение усяовнотч) прохода (для электронного пучка) при изменении взаимного положения дисков, что в целом снижает точность подученной информации. Цель изобретения - повьпиение точности измерений. Указанная цепь достигается тем, что в аноде для автоэлектронного микроскопа, состоицем из двух соосных вращающихся металлических дисков с зондовыми отверстиями, первый из которых по ходу элекгроиного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, зондоБые отверстия образованы прорезями в направлении от центров дисков к их периферии, расположенными по логарифмической спирали на первом диске и по радиусу на втором диске. На фиг. 1 изображено осевое сёченйе узла катод- нод{ на фиг. 2 схематически показана форма прорезей в дисках анода. По оси автоэлектронного микроскопа последовательно расположены катод (обраэец ) 1, анод, состоящий из двух дисков 2 и 3, первый из которых имеет люминофорное покрытие, и коллектор 4, собирающий электронный пучок 5. На первом ддоке 2 (фиг. 2) выполнена прорезь 6 от центра к периферии по логарифмической спирали, а на втором диске 3, соответственно, прорезь 7 по радиусу диска. Сквозное зондовое отверстие 8 образуется на пересечении прорезей в дисках.

Устройство работает следующим образом.

Анализируемый электронный пучок 5 от катода 1 проходит через зондовое отверстие 8 и попадает на коллектор 4. На экране, образованном люминофорным покрытием диска 2, визуализируется изображение поверхности образца. При вращении дисков 2 и 3 анода относительно друг друга зондовое отверстие 8 непрерывно перемещается и может быть установлено в выбранной области изображения, после чего производятся необходимые измерения на коллекторе 4. При вращениидисков прорезь по логарифмической спирали всегда пересекает радиальную прорезь под одинаковым углом, что обеспечивает постоянство формы зондового отверстия, а плавность его перемещения относительно дисков позволяет непрерывно контролировать его местоположение.

Указанные условия позволяют повысить точность измерения и качество получаемой информации, а исключение дискретной структуры зондовых отверстий повышает технолЬгичность изготовления анода.

Формула изобретения

Анод для автоэлектронного микроскопа, состоящий из двух соосных вращающихся металлических дисков с зондовыми отверстиями, первый из которых по ходу электроного пучка выполнен с люминофорным покрытием со стороны образца, отличающийся тем, что, с целыо повыщения точности измерений, зондовые отверстия образованы прорезями в направлении от центра дисков к их периферии, расположенными по логарифмической спирали на первом диске и по радиусу на втором диске.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент ФРГ № 2ОО90О5, кл. Н О1 7 37/285, опублик. 1978.

2. Суворов А. Л. и др. Автоэлекгронный микроскоп Приборы и техника эксперимента, 1979, № 4, с. 249 (прототип).

9

Фиг.2