Способ формирования рисунков Советский патент 1981 года по МПК H01L21/302 

(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКОВ

Изобретение относится н електроникеи может быть использовано для формирования электродных систем разных размеров. Известен способ формирования рисунка, например электродных систем, путем напьг ления металла через маску 1. Недостатками данного способа является необходимость предварительного изготовления маски или трафарета и невозмозюость корректировки рисунка в процессе изготовления. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому 5шляется способ формирсиания рисунка путем экспонироваимя нанесенного на подложку слоя фоторезиста через фотошаблон . Недостатками данного способа являются сложность изготовления фотошаблона и необходимость изготовления новогофотошабло на при любом изменении рисунка, что не позволяет оперативно изменять размеры рисунка и корректировать геометрические соотношения между еГо элементами в тфоцессе формирования рисунка. Кроме того, изготовление фотошаблона является трудоемким процессом, требующим специальной прецизионной аппаратуры. Сложной операцией является также установка фотошаблона, так как он должен плотно прилегать к слою фоторезиста по всей поверхности, а при больших размерах рисунка этого добиться трудно. Цель изобретения - упрощение технологического процесса. Поставленая цель достигается тем, что согласно способу формирования рисунков, включающему нанесение фоточувствительного слоя на подложку и его экспонирсжание, после нанесения фоточувствительногослоя подложку помещают в ванну с легкопоцвиис- ным веществом и возбуждают в нем колеб - йия с частотой и формой, соответствующими конфигурации рисунка. Экспонирование проводят синхронно с изменением фазы колебаний легкоподвиж- ного вещества. Использсжание легкоподвижного вещест- . ва, например воды, для формирования рисушг ка позволяет легко изменять размеры рисунка и геометрические соотношения его элементов измерением формы и частоты колебаний легкоподвйжного вешества, а использование режима синхршного экспонирования позволяет улучшить четкость рисунка и изменять пропорции между его элементами. На чертеже схематически изображено устройство Оля реализации данного способа. Приме р . Для создания рисунка, . cocTosnuero из параллельных полос длиной Ю см, шириной 0,5 мм и рассто5шием между полосами 2 мм, на два электромагнитных вибратс за 1 апиной 10 см, расположенные параллельно друг к другу и помещенные в ванну 2 с водой, подают переменное напряжение от генератора ГЗ33. Вибраторами возбуждают колебания поверхности воды, причем частоту кошбаний первоначально устанавливают 7О Гц а затем измен$пот, добиваясь расстояния между гребнями волн, равного 2 мм, Изменяя величину напряжения генератора ГЗ-ЗЗ, амплитуду колебаний поверхности воды выбирают такой, чтобы ширина засве чиваемой полосы была 0,5 мм. Затем нап равл$пот излечение 3 ог стробоскопическо лампы ИСП-Г), работающей синхронно с генератором ГЗ-33 на поверхность вопы и формируют промОпулированным излучением рисунок на фоточувствительном слое 4.

/

/Использование данного способа формирования рисунка обеспечивает создашв различньк рисунков изменением формы и частоты колебаний лагкопопвижного вещества к, следсеательно обеспечивает значительное сокращение времени и затрат Гсвязанных с изготовлением фогошаблона), особенно на этапе экспериментальных работ при отыскании оптимальной геометрии рисунка. Формула изобретения 1.Способ формирования рисункпв, включающий нанесение фоточувствитеал.ного С1ЮЯ на подложку и его экспонирование, отличающийся тем, что, с целью упроцения технологическсло процесса, после нанесения фоточувствительного слоя подложку помещают в ванну с легкоподвижным веществом и возбуждают в нем колебания с частотой и формой, соответствующими конфигурации рисунка. 2.Способ по п. I, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, экспонирование проводят синхронно с изменением фазы колебаний легкопоавт1зкного вешества. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 444833, кл. С 23 С 13/О8, 1974. 2,Авторское свидетельство СССР № 577506, кл. С 03 F 7/20, 1977 (прототип).